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SONIX超聲顯微鏡在觀察案成電路和生物組織方面，顯示出比光學(xué)員微鏡還要*的特點(diǎn)。SONIX超聲顯微鏡是利用超聲波來獲得集成電路和生物組織的顯微圖象的，其分濟(jì)率可與光學(xué)顯微鏡相抗衡，而且對(duì)比變更高。即使1μ線寬的線也能清晰地拍攝下來。
SONIX超聲顯微鏡是一種新一代的超聲檢測設(shè)備，能夠?qū)芏喟雽?dǎo)體材料的細(xì)微缺陷進(jìn)行精確的檢測，其工作原理通過不同的材料對(duì)聲波的阻抗不同，對(duì)超聲波的吸收和反射程度不同，從而得到一些微觀層面的檢測結(jié)果，超聲掃描顯微鏡買什么牌子好不重要而重要的是其檢測能力。下面就來詳細(xì)介紹一下SONIX超聲顯微鏡能夠檢測材料的哪些缺陷。
一、雜質(zhì)顆粒缺陷檢測
很多半導(dǎo)體設(shè)備由于其工藝技術(shù)較為復(fù)雜，生產(chǎn)技術(shù)較為特殊，因此生產(chǎn)出的產(chǎn)品往往其內(nèi)部會(huì)出現(xiàn)一些顆粒雜質(zhì)，目前行業(yè)內(nèi)對(duì)這些顆粒雜質(zhì)都有著較為嚴(yán)格的標(biāo)準(zhǔn)，超出一定范圍的顆粒雜質(zhì)基本上可以判斷該半導(dǎo)體產(chǎn)品的質(zhì)量出現(xiàn)了較大問題，而超聲掃描顯微鏡能夠精確地檢測出產(chǎn)品中顆粒雜質(zhì)的數(shù)量和范圍，對(duì)產(chǎn)品的質(zhì)量帶來了良好的保障。
二、內(nèi)部裂紋缺陷檢測
在一些做工精密的電器元件器或者半導(dǎo)體產(chǎn)品中，內(nèi)部裂紋是經(jīng)常出現(xiàn)的一種產(chǎn)品質(zhì)量問題。超聲掃描顯微鏡能夠通過超聲波的阻抗來對(duì)產(chǎn)品內(nèi)部的細(xì)微裂紋進(jìn)行檢測，從而有效的將內(nèi)部出現(xiàn)裂紋的產(chǎn)品篩選出來，避免有質(zhì)量問題的產(chǎn)品流入到市場中。
三、內(nèi)部分層缺陷檢測
內(nèi)部分層缺陷也是半導(dǎo)體和電子元器件中經(jīng)常會(huì)出現(xiàn)的問題，在過去傳統(tǒng)的超聲波檢測設(shè)備對(duì)于內(nèi)部分層缺陷的檢測始終有不夠精確的問題，而超聲掃描顯微鏡的出現(xiàn)很好的彌補(bǔ)了分層缺陷檢測的空白，并且檢測的精確度也*。
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