什么是微焦點(diǎn)X射線機(jī)？

所謂的微焦點(diǎn)X射線機(jī)是焦點(diǎn)尺寸可以達(dá)到幾個(gè)微米，并且能夠在0～225kV或更高恒電壓模式下，以一定的功率（通常高到為320W）連續(xù)工作的X射線機(jī)。 微焦點(diǎn)X射線機(jī)的焦點(diǎn)尺寸通?？梢赃B續(xù)可調(diào)，從幾微米直到0.2毫米或更高。

什么是微焦點(diǎn)X射線機(jī)？微焦點(diǎn)X射線機(jī)與常規(guī)X射線管相同，微焦點(diǎn)X射線管的陽(yáng)極也是用循環(huán)油或水來(lái)冷卻。 與常規(guī)X射線機(jī)不同的是，用于無(wú)損檢測(cè)的微焦點(diǎn)X射線管是用真空泵來(lái)維持X射線管內(nèi)的真空度（約為10-7）。 微焦點(diǎn)X射線管可以很方便的打開（即開放式或稱為開管），用來(lái)更換不同的靶材以產(chǎn)生不同的X射線頻譜；更換不同形狀及大小的X射線窗口；以及更換陽(yáng)極的類型，如換上各種直徑和長(zhǎng)度的棒陽(yáng)極，以滿足不同檢測(cè)任務(wù)的需要。 這些陽(yáng)極棒的長(zhǎng)度可達(dá)1500毫米，直徑可從18毫米一直小到4毫米。使用如此小的棒陽(yáng)極，我們可以用單壁內(nèi)透照方式，的缺陷檢測(cè)靈敏度進(jìn)行射線檢測(cè)。

FineTec 225KV-泛泰克微焦點(diǎn)射線機(jī)225KV

FineTec 160KV-泛泰克微焦點(diǎn)射線機(jī)160KV

FineTec 300KV-泛泰克微焦點(diǎn)射線機(jī)300KV

泛泰克FineTec 100KV-開管一體式100kV微焦點(diǎn)射線機(jī)

德國(guó)泛泰克微焦點(diǎn)射線機(jī)是比較受歡迎的微焦點(diǎn)X射線機(jī)，目前廣泛應(yīng)用于航空航天、半導(dǎo)體電子等行業(yè)等要求比較高等行業(yè)及應(yīng)用！

在微焦點(diǎn)射線機(jī)等應(yīng)用過(guò)程中，需要考慮的是X射線束視場(chǎng)直徑或稱錐束角。 進(jìn)行微焦點(diǎn)X射線檢測(cè)，當(dāng)焦距很近時(shí)，錐束角或視場(chǎng)范圍非常重要。例如，25°錐角的微焦點(diǎn)X射線機(jī)的曝光次數(shù)要小于15°錐角的微焦點(diǎn)X射線機(jī)在檢測(cè)相同范圍時(shí)的曝光次數(shù)。

另一個(gè)需要考慮的是焦點(diǎn)到X射線管窗口外表面的距離，它決定了被檢樣品到焦點(diǎn)的小距離。 這一參數(shù)的重要性在于它決定了一個(gè)微焦點(diǎn)系統(tǒng)可能達(dá)到的大放大倍數(shù)。 由于防護(hù)設(shè)施空間的局限以及射線的衰減與距離的平方成反比（I/R2 ），我們無(wú)法隨意拉長(zhǎng)膠片或探測(cè)器到射線源的距離以增大放大倍數(shù)。

在進(jìn)行微焦點(diǎn)X射線檢測(cè)時(shí)有一個(gè)與常規(guī)X射線檢測(cè)很大的不同：我們通常不需要考慮圖像半影的大小，即通常不考慮幾何不清晰度的影響。原因是當(dāng)焦點(diǎn)尺寸足夠小時(shí)，半影可以忽略不計(jì)。 因此我們可以在X射線視場(chǎng)可接受的情況下，盡可能減小被檢樣品到焦點(diǎn)的距離。

微焦點(diǎn)X射線機(jī)的主要技術(shù)參數(shù)有那些？

- 管電壓范圍：微焦點(diǎn)X射線管的高壓工作范圍。
- 大管電流：從陰極到陽(yáng)極的大電流。
- 大功率：微焦點(diǎn)X射線管的大功率。
- 電子束聚焦能力（焦點(diǎn)）：在給定功率下的焦點(diǎn)尺寸，如：3µm@5W；0.2mm@320W。焦點(diǎn)一般連續(xù)可調(diào)。
- 細(xì)節(jié)分辨能力：通常*的小的細(xì)節(jié)分辨能力為焦點(diǎn)尺寸的一半。
- 錐束角：在給定窗口直徑下的X射線放射角。如：孔徑2mm時(shí)，25°。
- 錐束角中的射線均勻度：射線視場(chǎng)強(qiáng)度的均勻性，以百分比表示。
- X射線劑量率穩(wěn)定性：X射線劑量隨時(shí)間的變化性，以 百分比/小時(shí) 表示。
- 小焦距：通常用焦點(diǎn)到X射線管窗口外表面的距離來(lái)表示。
- 靶材料：通常有鎢，鉬，銅以及其它材料。
- 小高壓穩(wěn)定時(shí)間：系統(tǒng)在大電壓和大功率模式下，從開機(jī)到穩(wěn)定運(yùn)行所需的時(shí)間。
- 其它參數(shù)：重量，尺寸，電源，及溫度濕度要求等。