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液壓伺服閥包括:滑閥式伺服閥、噴嘴擋板式伺服閥、射流管式伺服閥。
滑閥式伺服閥:采用動圈式力馬達,結構簡單,功率放大系數(shù)較大,滯環(huán)小和工作行程大;固定節(jié)流口尺寸大,不易被污物堵塞;主滑閥兩端控制油壓作用面積大,從而加大了驅動力,使滑閥不易卡死,工作可靠。
噴嘴擋板式伺服閥:該伺服閥,由于力反饋的存在,使得力矩馬達在其零點附近工作,即銜鐵偏轉角θ很小,故線性度好。此外,改變反饋彈簧桿11的剛度,就能在相同輸入電流時改變滑閥的位移。該伺服閥結構緊湊,外形尺寸小,響應快。但噴嘴擋板的工作間隙較小,對油液的清潔度要求較高。
射流管式伺服閥:對油液的清潔度要求較低。缺點是零位泄漏量大;受油液粘度變化影響顯著,低溫特性差;力矩馬達帶動射流管,負載慣量大,響應速度低于噴嘴擋板閥。
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