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輪廓儀技術規(guī)格

來源:寧波旗辰儀器有限公司   2020年05月18日 17:25  

 技術規(guī)格

技術參數

線性精度1

±(1.5+|0.2H|)μm

圓弧2

±(2+R/8)μm

角度3

±2′

直線度4

0.8μm/100mm

運動控制

X軸驅動方式

電動

Z軸驅動方式

電動

X軸驅動速度

0.1~10mm/s

Z軸驅動速度

0.5-10mm/s

 

注:1、H為水平位置上的測量高度;2、2mm<R<10mm的標準球,取樣圓弧夾角為120°;3、60°、90°的角度塊,角邊取樣長度為5mm;4、λc為2.5mm,測量速度為0.3mm/s;5、2mm<R<10mm的標準球,取樣圓弧夾角為120°6、以上參數均在20℃±5℃,階梯溫度不超過2℃/h的環(huán)境下測得;7、地面震動大RMS  

50HZ  2.5μm/s />50HZ  5.0μm/s。 

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