技術規(guī)格
技術參數 | 線性精度1 | ±(1.5+|0.2H|)μm |
圓弧2 | ±(2+R/8)μm | |
角度3 | ±2′ | |
直線度4 | 0.8μm/100mm | |
運動控制 | X軸驅動方式 | 電動 |
Z軸驅動方式 | 電動 | |
X軸驅動速度 | 0.1~10mm/s | |
Z軸驅動速度 | 0.5-10mm/s |
注:1、H為水平位置上的測量高度;2、2mm<R<10mm的標準球,取樣圓弧夾角為120°;3、60°、90°的角度塊,角邊取樣長度為5mm;4、λc為2.5mm,測量速度為≤0.3mm/s;5、2mm<R<10mm的標準球,取樣圓弧夾角為120°6、以上參數均在20℃±5℃,階梯溫度不超過2℃/h的環(huán)境下測得;7、地面震動大RMS
<50HZ 2.5μm/s />50HZ 5.0μm/s。
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