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表面粗糙度輪廓儀是采用一條輪廓中線作為評定基準(zhǔn)，借助評定參數(shù):輪廓算術(shù)平均偏差Ra、微光不平度十點高度Rz、輪廓大高度Ry、輪廓微觀不平度的平均間距Sm、輪廓的單峰平均間距S、輪廓支承長度率tp等六個參數(shù)對表面質(zhì)量進行評定，終得到所需表面粗糙度的測試檢測儀器。
表面粗糙度輪廓儀由傳感器、驅(qū)動箱、指示表、記錄器和工作臺等主要部件組成。電感傳感器是輪廓儀的主要部件之一，傳感器測桿一端裝有觸針(由于金剛石耐磨、硬度高的特點，觸針多選用金剛石材質(zhì))，觸針的要求曲率半徑很小，以便于全面的反映表面情況。測量時將觸針搭在加工件的被測表面上，并使針尖與被測面保持垂直接觸，利用驅(qū)動裝置以緩慢、均勻的速度拖動傳感器。由于被測表面是一個有峰谷起伏的輪廓，所以當(dāng)觸針在被測表面拖動滑行時，將隨著被測面的峰谷起伏而產(chǎn)生上下移動。此運動過程又運用杠桿原理經(jīng)過支點傳遞給磁芯，使它同步地在電感線圈中作反向上下運動，并將運動幅度放大，從而使包圍在磁芯外面的兩個差動電感線圈的電感量發(fā)生變化，并將觸針微小的垂直位移轉(zhuǎn)換為同步成比例的電信號。
傳感器的線圈與測量線路直接接入由后續(xù)裝備成的平衡電橋，線圈電感量的變化使電橋失去了平衡，于是就激發(fā)輸出一個和觸針上下位移量大小比的電量，此時的這一電量比較微弱，不易被察覺，需要用電子裝置將這一微弱電量的變化放大，再經(jīng)相敏檢波后，獲得能表示觸針位移量大小和方向的信號。信號又可分為三路:一路加載在指示表上，以表示觸針的位置;一路輸送至直流功率放大器，放大后推動記錄器進行記錄;一路經(jīng)濾波和平均表放大器放大之后，進入積分計算器，進行積分計算，由指示表直接讀出表面粗糙度參數(shù)值。
這種儀器的測量范圍通常為Ra0.02~10μm，其中有少數(shù)型號的儀器還可以測定更小的參數(shù)值。儀器配有各種附件，以適應(yīng)平面、內(nèi)外圓柱面、圓錐面、球面、曲面、小孔、溝槽等形狀的工件表面測量，測量迅速方便，且精度較高。
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