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光學輪廓儀-臺階高度測量、表面粗糙度測量
Profilm3D光學輪廓儀-臺階高度測量、表面粗糙度測量儀使用了進的垂直掃描干涉(VSI)結合高精度相移干涉(PSI)測量.以前所未見的價格使得表面形貌研究進入次納米等級。通過光學掃描儀掃描表面輪廓可進行臺階高度測量，表面粗糙度測量。
n干涉測量法是研究同一光源發(fā)出的多個光束的波陣面之間的干涉。干涉計是一種把從一個光源發(fā)出的單束光分成兩束，然后又重新合并以產生干涉圖案的光學裝置
VSI: 當掃描移動時，被測試的零件的不同區(qū)域被聚焦(零光程差的地方在干涉條紋之間具有大的對比度)。通過對大對比點的確認和知道馬達的位置，就可以重新構造表面形狀。
PSI：PZT (在加電壓時，壓電陶瓷會改變它的尺寸)以 l / 8的步長來推動鏡子。 由于光從鏡子反射，在兩束光之間產生一個 l/4的相位漂移,l/4相位漂移相當于90度或p/2的相位漂移。
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