THOMAS真空泵是用來干什么的
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真空泵是利用機械、物bai理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來講,真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。
真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu),立式結(jié)構(gòu)的進、排氣口水平設(shè)置,裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高,在高速運轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性差,故這種型式多用于小泵。
臥式泵的進氣口在上,排氣口在下。有時為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便,可將排氣口從水平方向接出,即進、排氣方向是相互垂直的。此時,排氣口可以從左或右兩個方向開口,除接排氣管道一端外,另一端堵死或接旁通閥。這種泵結(jié)構(gòu)重心低,高速運轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性好。一般大、中型泵多采用此種結(jié)構(gòu)。
THOMAS真空泵是用來干什么的泵的兩個轉(zhuǎn)子軸與水平面垂直安裝。這種結(jié)構(gòu)裝配間隙容易控制,轉(zhuǎn)子裝配方便,泵占地面積小。但泵重心較高且齒輪拆裝不便,潤滑機構(gòu)也相對復雜。
干式機械真空泵的應(yīng)用:
1、低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;
2、半導體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;3、除半導體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微?;烊氡糜椭校M⒘E懦霰猛?,則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求;4、在化學工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機溶劑造成污染,適合用干式真空泵;5、用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵,以防止油污染。
真空泵是用來在某一封閉bai空間中改善、產(chǎn)生du和維持真空的裝zhi置。
真空泵是指利用機械、物理、化學或dao物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來講,真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。
按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分為兩種類型,即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。
真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu)。立式結(jié)構(gòu)的進、排氣口水平設(shè)置,裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高,在高速運轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性差,故這種型式多用于小泵。
真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子,降低真空室內(nèi)的氣體壓力,使之達到要求的真空度。因此,為達到不同產(chǎn)品的工藝指標、工作效率和設(shè)備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統(tǒng)配置。為達到佳配置,選擇真空系統(tǒng)時,應(yīng)考慮下述各點:
首先必須檢查確定每一種工藝要求的真空度。因為每一種工藝都有其適應(yīng)的真空度范圍,必須認真研究確定之。
在確定了工藝要求的真空度的基礎(chǔ)上檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度,因為系統(tǒng)的極限真空度決定了系統(tǒng)的佳工作真空度。一般來講,系統(tǒng)的極限真空度比系統(tǒng)的工作真空度低20%,比前級泵的極限真空度低50%。
檢查確定工藝要求的抽氣種類與抽氣量。因為如果被抽氣體種類與泵內(nèi)液體發(fā)生反應(yīng),泵系統(tǒng)將被污染。同時必須考慮確定合適的排氣時間與抽氣過程中產(chǎn)生的氣體量。
檢查確定達到要求的真空度所需要的時間、真空管道的流阻與泄漏??紤]達到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。THOMAS真空泵是用來干什么的
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