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表面輪廓儀采用觸針與被測樣品直接接觸的方式來測定表面輪廓，獲得表面輪廓曲線，能夠測量臺階高度、寬度、樣品表面粗糙度及相關參數(shù)，并能進行應力測量。測量力500μN范圍內(nèi)可自由設定，系統(tǒng)自動水平補正，適用于半導體、微機電、材料、物理等領域的研究。
表面輪廓儀能夠在同一測試平臺上運行多種測試，產(chǎn)品的組合可根據(jù)不同的技術應用要求而改變。針對樣品的同一區(qū)域可進行不同模式的實驗檢測，模式切換可實現(xiàn)全自動化。多項技術的整合能夠使不同技術在同一檢測儀上充分發(fā)揮各自的優(yōu)勢。該項整合技術不僅有利于數(shù)據(jù)的綜合分析，也可以減少維護成本，從而提高效率。
表面輪廓儀產(chǎn)品功能：
1）具備各種類型樣品表面微觀形貌的3D輪廓重建與測量功能；
2）具備表面粗糙度和微觀輪廓的檢測功能，粗糙度范圍涵蓋0.1nm到數(shù)十微米的級別；
3）具備校平、去除形狀、去噪、濾波等數(shù)據(jù)處理功能；
4）具備粗糙度分析、輪廓分析、結構分析、功能分析等表面參數(shù)分析功能；
5）具備自動對焦、自動測量、自動多區(qū)域測量、自動拼接測量等自動化功能；
6）具備一鍵分析、多文件分析等快速、批量分析功能；
7）具備word、excel等數(shù)據(jù)報表導出功能。
表面輪廓儀采用的是非接觸式測量技術，具有亞納米測量精度（所有放大倍數(shù)下），可以更快更好地測量各種樣品表面，是一款具有非常高投資回報率的產(chǎn)品。滿足各種應用需求，包括平面度，粗糙度和波紋度，薄膜，臺階高度，適用于幾乎任何材質表面。
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