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AMC在線監(jiān)測空氣分子污染的實時監(jiān)測對于半導(dǎo)體生產(chǎn)過程非常重要?？焖俦O(jiān)視，警報，低濃度測量，寬測量范圍以及對多種氣體的高度敏感響應(yīng)是半導(dǎo)體行業(yè)的要求。深紫外光刻工藝特別注意氨，胺，N-甲基吡咯烷酮NMP，酸等的濃度測量。當(dāng)這些氣體與化學(xué)放大的光致抗蝕劑反應(yīng)時，它們會嚴(yán)重影響半導(dǎo)體器件的質(zhì)量。傳統(tǒng)的古代方法大多使用間接測量和分析方法，包括沖擊濾池，離子色譜法，化學(xué)熒光法，這些方法分析速度太慢，操作過程太復(fù)雜，價格昂貴且測量結(jié)果不準(zhǔn)確。
AMC在線監(jiān)測技術(shù)解決了AMC（空氣分子污染物）監(jiān)測的問題，該監(jiān)測可以快速測量NH3，HCL，HF的痕量水平，使用脈沖熒光測量SO2，并使用增強(qiáng)的GC-FID測量VOC。3100S系列空氣分子污染物監(jiān)測系統(tǒng)可測量NH3，HCL，HF的痕量水平，并整合了uVOC-CAM的特性。它是用于半導(dǎo)體行業(yè)中潔凈室AMC（空氣分子污染）測量的強(qiáng)大工具。
AMC在線監(jiān)測還集成了一個多點監(jiān)測系統(tǒng)，該系統(tǒng)可以按順序?qū)怏w泵送到分析儀或傳感器，并讀取測量結(jié)果。3100S內(nèi)嵌的警報，報告和分析軟件是由在半導(dǎo)體行業(yè)具有多年經(jīng)驗的工程師共同開發(fā)的。使用以太網(wǎng)，RS485/RS232或4-20mA模擬量模塊從4?6個分析儀或傳感器輸出數(shù)據(jù)。每臺分析儀均配有用于數(shù)據(jù)存儲和數(shù)據(jù)輸出的內(nèi)置計算機(jī)，還支持遠(yuǎn)程網(wǎng)絡(luò)控制，操作或診斷。
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