等離子清洗機(jī)是一種非破壞性的表面處理設(shè)備，通過(guò)能量轉(zhuǎn)換技術(shù)在一定負(fù)壓狀態(tài)下，電能將氣體轉(zhuǎn)化為*活性的等離子體，等離子體輕柔沖刷固體樣品表面，引起分子結(jié)構(gòu)的改變，從而達(dá)到對(duì)樣品表面有機(jī)污染物進(jìn)行超清洗，在極短時(shí)間內(nèi)有機(jī)污染物被外接真空泵抽走，其清洗能力可以達(dá)到分子級(jí)。在一定條件下等離子體也可使樣品表面特性發(fā)生改變。由于采用氣體作為清洗介質(zhì)，所以能有效避免樣品的再次污染。

等離子清洗機(jī)既能加強(qiáng)樣品的粘附性、相容性和浸潤(rùn)性，也能對(duì)樣品進(jìn)行殺毒和滅菌。

目前，等離子清洗機(jī)已廣泛應(yīng)用于光學(xué)、光電子學(xué)、電子學(xué)、材料科學(xué)、高分子、生物醫(yī)學(xué)、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域。

等離子體清洗技術(shù)優(yōu)點(diǎn)是不分處理對(duì)象的基材類(lèi)型，均可進(jìn)行處理，對(duì)玻璃、金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料，如聚丙烯、聚脂、聚酰亞胺、聚氯乙烷、環(huán)氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地處理，并可實(shí)現(xiàn)整體和局部以及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗。 等離子體的”活性”組分包括：離子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子體表面處理儀就是通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、改性、光刻膠灰化等目的。