大理石平臺(tái)主要用于平面度檢測(cè),大理石熱膨脹小,高精度的平臺(tái)往往用大理石的,比如三坐標(biāo)的導(dǎo)軌。高精度光刻,就用高精度000級(jí)大理石平臺(tái),一些芯片設(shè)備,也是安裝在這類大理石平臺(tái)上的,產(chǎn)品的檢測(cè),也在這種大理石平臺(tái)檢測(cè),包括高級(jí)別的光學(xué)檢測(cè)。凡是與晶片有關(guān)的設(shè)備都是高的嚇人,一臺(tái)辦公桌大小的大理石平臺(tái)價(jià)格可以上億元,當(dāng)然精度也是高的嚇人了。
高精度000級(jí)大理石平臺(tái)是手磨的,人依然是gao精度,不是說(shuō)人有多神奇,是人可以一點(diǎn)一點(diǎn)地研磨,邊研磨邊測(cè)量,而機(jī)器是沒(méi)有這種靈活性的,你到這種大平板廠子去看一下,終的精度是人工玩出來(lái)的,低精度是機(jī)器玩的。
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