晶圓薄膜應(yīng)力測試儀

主要特點(diǎn)：

l  快速、非接觸式測量；

l  樣品臺可通用于3至8寸晶圓，128L型號適用于12寸晶圓，128G 型號適用于470 X 370mm樣品，另可按要求訂做；

l  利雙激光自動(dòng)轉(zhuǎn)換技術(shù)：如某一波長激光在樣本反射度不足，系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)使用另一波長激光進(jìn)行掃瞄，滿足不同材料的應(yīng)用；

l  全自動(dòng)平臺，可以進(jìn)行2D及3D掃瞄（可選)；

l  可加入更多功能滿足研發(fā)的需求：電介質(zhì)厚度測量，光致發(fā)光激振光譜分析（III-V族的缺陷研究）；

l  500 及 900°C高溫型號可選； 

l  樣品上有圖案亦適用；

l   薄膜應(yīng)力范圍: 1 MPa — 1.4 GPa。

晶圓薄膜應(yīng)力測試儀

武漢賽斯特精密儀器有限公司是武漢市專業(yè)研發(fā)，以力學(xué)試驗(yàn)機(jī)儀器為主，同時(shí)銷售各種、中低端分析儀器?，F(xiàn)有員工60多人，公司成功開發(fā)了PCI放大采集卡和中文版試驗(yàn)軟件，并采用全數(shù)字化，操作簡捷，*符合GB、ISO、JIS、ASTM、DIN等標(biāo)準(zhǔn)、國家標(biāo)準(zhǔn)、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的要求，公司亦通過了ISO9001質(zhì)量體系認(rèn)證和國家計(jì)量體系認(rèn)證，榮獲了“武漢市第九界消費(fèi)者滿意單位”的稱號。