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等離子清洗是一種非破壞性的表面處理技術(shù)，通過(guò)能量轉(zhuǎn)換技術(shù)在一定負(fù)壓狀態(tài)下，電能將氣體轉(zhuǎn)化為*活性的等離子體，等離子體輕柔沖刷固體樣品表面，引起分子結(jié)構(gòu)的改變，從而達(dá)到對(duì)樣品表面有機(jī)污染物進(jìn)行超清洗，在極短時(shí)間內(nèi)有機(jī)污染物被外接真空泵抽走，其清洗能力可以達(dá)到分子級(jí)。在一定條件下等離子體也可使樣品表面特性發(fā)生改變。由于采用氣體作為清洗介質(zhì)，所以能有效避免樣品的再次污染。等離子清洗機(jī)既能加強(qiáng)樣品的粘附性、相容性和浸潤(rùn)性，也能對(duì)樣品進(jìn)行殺毒和滅菌。目前，等離子清洗機(jī)已廣泛應(yīng)用于光學(xué)、光電子學(xué)、電子學(xué)、材料科學(xué)、高分子、生物醫(yī)學(xué)、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域。
等離子清洗機(jī)的應(yīng)用領(lǐng)域：
• LED、LCD、OLED、PCB等封裝領(lǐng)域中的超清洗和改性，增強(qiáng)其粘附性• 半導(dǎo)體元件、印刷線路板、ATR元件、人工晶體、天然晶體的超清洗
• 移除光學(xué)元件等表面光阻物質(zhì)，去除金屬材料表面氧化物
• 清洗生物芯片、微流控芯片、沉積凝膠基片、高分子材料表面的修飾及改性
• 涂覆鍍膜領(lǐng)域中對(duì)玻璃、塑料、陶瓷、高聚合物等材料表面改性，使其活化，增強(qiáng)表面粘
附性、浸潤(rùn)性、相容性，顯著提高涂覆鍍膜質(zhì)量
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