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無塵烤箱用于IC生產(chǎn)過程中極為重要的光刻工藝中預(yù)烘烤(軟烘)，脫水烘烤，涂膠后的堅膜烘烤(硬烘)；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、OLED、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門。
清潔烤箱，無塵烤箱原理
無塵烤箱配備HEPA過濾器，以保持爐腔無顆粒。 HEPA過濾器(高效微粒捕獲)現(xiàn)在是電子和平板顯示器潔凈室組裝的主要過濾系統(tǒng)，或任何需要減少或去除亞微米微粒的應(yīng)用。 HEPA過濾器具有隨機(jī)定位的微玻璃纖維的深床，其中與平均纖維直徑和自由路徑橫截面的有效孔相比，總床深度(過濾器的厚度)非常大。
通過HEPA過濾器的氣體必須流過的通道不是直的，而是非常曲折的。隨著顆粒對纖維的影響并粘附在纖維上，通道變得更小并且過濾器的效率提高。無塵烤箱以及LCD行業(yè)的特殊輸送爐中使用這些過濾器。為了保護(hù)過濾器不會在烤箱中過熱，實施了用于過濾器的特殊保護(hù)系統(tǒng)。 HEPA過濾器在正常條件下保持其在烤箱中的效率一至數(shù)年。 HEPA不需要任何清潔或維護(hù)來保持這種效率。無塵烤箱用于半導(dǎo)體行業(yè)。
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