掃描電子顯微鏡對樣品有哪些要求？其影像的影響因素有哪些？

來源：上海曼戈斐光學(xué)技術(shù)有限公司 2021年04月23日 09:06

掃描電子顯微鏡基本要點是用極狹窄的電子束來掃描樣品，即電子束在樣品上作光柵運動。電子束與樣品相互作用將會產(chǎn)生樣品的二次電子發(fā)射，二次電子能產(chǎn)生樣品表面放大的形貌像，這個像是在樣品被掃描時按時序地建立起來的，即用逐點成像的方法獲得放大的像。

掃描電子顯微鏡對樣品的要求：

1、不會被電子束分解

2、在電子束掃描下熱穩(wěn)定性要好

3、能提供導(dǎo)電和導(dǎo)熱通道

4、大小與厚度要適于樣品臺的安裝

5、觀察面應(yīng)該清潔，無污染物

6、進行微區(qū)成分分析的表面應(yīng)平整

7、磁性試樣要預(yù)先去磁，以免觀察時電子束受到磁場的影響

顯微鏡影像品質(zhì)的影響因素有：

A. 電子槍的種類:使用場發(fā)射、LaB6或鎢絲的電子槍。

B. 電磁透鏡的完善度。

C. 電磁透鏡的型式: In-lens ,semi in-lens, off-lens

D. 樣品室的潔凈度: 避免粉塵、水氣、油氣等污染。

E. 操作條件: 加速電壓、工作電流、儀器調(diào)整、樣品處理、真空度。

F. 環(huán)境因素: 振動、磁場、噪音、接地。

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