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氦離子氣相色譜儀是采用氦離子化檢測器，基于氣相色譜法原理設計、研制的專用型色譜儀，主要用于純氧、高純氧中微量氬、氮和甲烷的色譜測定。氦離子氣相色譜儀具有結構合理、穩(wěn)定性好、維修方便、分析速度快，重現(xiàn)性好，操作簡便等特點。
成套氦離子氣相色譜儀由主機、色譜工作站、純化器三部分組成。主機包括：HID檢測器、溫度控制器、微電流放大器、進樣閥、色譜柱、脫氧柱、氣路部件等。柱溫控制可實現(xiàn)恒溫和程序升溫控制。微電流放大器采用摸式基線補償調零及信號衰減。
氦離子氣相色譜儀分析的過程介紹：
1.如高純N2通過程序設定，樣品通過閥1定量管定量進入預柱1/8”*2mHayesepQ1，預柱很好的把O2中CO2和H2、O2(Ar)、N2、CH4、CO組分預分離，待H2、O2(Ar)、N2、CH4、CO流出預柱，自動切換閥1。CO2直接通過閥1放空。
2.閥3一開始是1-4相同，當O2從分子篩柱流出后進入閥3后，進入后面的分析篩，閥3切換，H2、02直接進入后面的分子篩繼續(xù)分離，通過閥4進入檢測器檢測。此時閥3處于放空狀態(tài)，放掉大部分的氮氣，當CH4即將流出前面分子篩，閥3再次切換，CH4與氮氣的混合氣體進入后面的分子篩繼續(xù)分離，通過閥4進入檢測器進行檢測。當CH4*流出前面分子篩后，閥3再次切割為放空狀態(tài)，繼續(xù)放掉氮氣。
3.當CO即將流出分子篩，閥3再次切換，CO通過閥3進入后面的分子篩繼續(xù)分離，進入檢測器檢測。當CO從前面分子篩流出后，閥3再次切換，處于放空狀態(tài)。
4.閥2是用來分析CO2的，當樣品從定量環(huán)中帶入預柱中，一開始閥2是處于放空狀態(tài)，待H2、O2(Ar)、N2、CH4、CO流出排空后，閥2切換，把CO2反吹進檢測器進行分析。
分析過程圖解：
GC-9860-5CPDHID氦離子化氣相色譜儀適用于高純氣體、超高純氣體及電子工業(yè)用氣體中痕量雜質的檢測。該產品以GC-9860氣相色譜儀為載體，配備VALCO公司生產的氦離子化（PDHID）檢測器；采用公司擁有專業(yè)技術的四閥五柱的中心切割與反吹技術，其中的所有進樣和切換閥均為VALCO公司生產的帶吹掃保護氣路的六通或十通閥。
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