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balluff晶圓映射傳感器在最狹隘的空間內(nèi)保障高精度
可集成到末端執(zhí)行器內(nèi)，非常適合晶圓映射
為滿足您的晶圓映射需求，巴魯夫提供高精度光電傳感器，可完集成到末端執(zhí)行器內(nèi)。我們的映射傳感器經(jīng)過專門設(shè)計(jì)，適合極薄的末端執(zhí)行器，傳感器的光斑均勻且受控性和聚光性好，因此，該傳感器可識別甚至只有幾微米厚度的晶圓，精度*。該傳感器能可靠識別整個(gè)卡槽，重疊的晶圓或歪斜的晶圓能始終得到識別。
映射傳感器基于光電Micromote技術(shù)，它將一個(gè)極小的光學(xué)傳感器頭與外部處理單元（放大器）組合到一起，兩者通過高柔性電纜連接。這意味著您可以將傳感器應(yīng)用于任何機(jī)械安裝方式，與其他Micromote傳感器一樣。
特點(diǎn)
傳感器電纜非常緊湊、柔韌性高
多功能傳感器頭
使用BAE外部放大器，靈活性好，適用于各種應(yīng)用
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