為超高純度氣體選配的不銹鋼壓力調(diào)節(jié)器一定要符合這些技術(shù)參數(shù)
不銹鋼壓力調(diào)節(jié)器將進(jìn)口壓力減至某一需要的出口壓力,并依靠介質(zhì)本身的能量,使出口壓力自動(dòng)保持穩(wěn)定的閥門。從流體力學(xué)的觀點(diǎn)看,減壓閥是一個(gè)局部阻力可以變化的節(jié)流元件,即通過(guò)改變節(jié)流面積,使流速及流體的動(dòng)能改變,造成不同的壓力損失,從而達(dá)到減壓的目的。然后依靠控制與調(diào)節(jié)系統(tǒng)的調(diào)節(jié),使閥后壓力的波動(dòng)與彈簧力相平衡,使閥后壓力在一定的誤差范圍內(nèi)保持恒定。
不銹鋼壓力調(diào)節(jié)器技術(shù)參數(shù):
單級(jí),不銹鋼。
兩個(gè)壓力表,CGA-180接頭。
不銹鋼膜片和Kel-F®閥座。
即使在低流速的情況下,也能準(zhǔn)確控制壓力。
測(cè)試泄漏和雜質(zhì)。出口壓力表0-30psi
不銹鋼壓力調(diào)節(jié)器專為超高純度氣體,半導(dǎo)體用(毒,腐)氣體設(shè)計(jì),滿足超大規(guī)模集成電路的使用要求。產(chǎn)品依據(jù)嚴(yán)格的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)、清洗、生產(chǎn)、測(cè)試、包裝。進(jìn)口壓力:25MPa|出口壓力:0~0.2MPa,0~0.4MPa,0~0.6MPa|材質(zhì):SUS316L(VIM+VAR),氣體減壓器,單級(jí)式設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、重量輕,適用于實(shí)驗(yàn)室、工廠、醫(yī)院等非腐蝕性氣體中等壓系統(tǒng)。標(biāo)準(zhǔn)流量60L/min。進(jìn)口壓力:15MPa|出口壓力:0~1.2MPa|標(biāo)準(zhǔn)流量:60L/min|材質(zhì):HPb59-1鍍鎳。
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