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實際生產(chǎn)中微觀上的表面形貌對工程零件的許多技術(shù)性能的評價具有直接的影響，而且表面三維評定參數(shù)由于能更全面、更真實地反映零件表面的特征及衡量表面的質(zhì)量而越來越受到重視，因此三維形貌儀的測量就越顯重要。通過對三維形貌的測量可以比較全面地評定表面質(zhì)量的優(yōu)劣，進而確認(rèn)加工方法的好壞及設(shè)計要求的合理性，這樣就可以反過來通過指導(dǎo)加工、優(yōu)化加工工藝以加工出高質(zhì)量的表面，確保零件使用功能的實現(xiàn)。
三維形貌儀的光源發(fā)出的光經(jīng)過擴束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測表面反射回來，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。儀器采用白光軸向色差原理對樣品表面進行快速、重復(fù)性高、高分辨率的三維測量，測量范圍可從納米級粗糙度到毫米級的表面形貌，臺階高度，給MEMS、半導(dǎo)體材料、太陽能電池、醫(yī)療工程、制藥、生物材料，光學(xué)元件、陶瓷和先進材料的研發(fā)和生產(chǎn)提供了一個準(zhǔn)確的、價格合理的計量方案。
三維形貌儀適用于各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。多項式配置、數(shù)據(jù)配置、掃描、屏蔽和插值，交互縮放，X-Y和線段剖面，三維線路、混合和固定繪圖，用于階越高度測量的地區(qū)差異繪圖。
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