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原子沉積系統(tǒng)是一款緊湊型獨(dú)立的PC計(jì)算機(jī)控制的ALD原子層沉積系統(tǒng)，帶Labview軟件，具備四級(jí)密碼控制的用戶(hù)授權(quán)保護(hù)功能。系統(tǒng)為全自動(dòng)的安全互鎖設(shè)計(jì)，并提供了強(qiáng)大的靈活性，
原子沉積系統(tǒng)的操作步驟：
1、開(kāi)機(jī)：開(kāi)普氮(壓力0.4-0.6MPa)、高純氮?dú)馄?壓力小于0.1MPa)；開(kāi)總電源；開(kāi)水冷機(jī)。
2、放樣品：點(diǎn)擊“進(jìn)氣”，待壓強(qiáng)升至1個(gè)大氣壓后，打開(kāi)腔體，放入樣品。點(diǎn)擊“設(shè)置”，將流量重新設(shè)置為：20。
3、開(kāi)機(jī)械泵：先打開(kāi)機(jī)械泵電源開(kāi)關(guān)，然后點(diǎn)擊“泵閥開(kāi)”。4、設(shè)置溫度參數(shù)：點(diǎn)擊“設(shè)置”，開(kāi)始設(shè)置溫度參數(shù)，例如1：200度；2：230度；11(水)：50度，或者11(臭氧)：0度；10(Al源)：0度。循環(huán)次數(shù)根據(jù)需要設(shè)置。流量：20。點(diǎn)擊“確定”，開(kāi)始加熱，加熱時(shí)間不少于45min。
5、排水：加熱45min后，若之前用過(guò)水，而本次實(shí)驗(yàn)用臭氧，則需排水。點(diǎn)擊“模式1”，將前驅(qū)體4的脈沖時(shí)間設(shè)為：1000ms，清洗時(shí)間設(shè)為：5s，關(guān)閉小窗，點(diǎn)擊“開(kāi)始”，n個(gè)循環(huán)后，點(diǎn)擊“結(jié)束”，排水完成。
6、設(shè)置沉積模式參數(shù)：點(diǎn)擊“模式1”或者“模式2”，設(shè)置前驅(qū)體和水(或者臭氧)的脈沖時(shí)間和清洗時(shí)間。以沉積氧化鋁為例，前驅(qū)體3為鋁源，前驅(qū)體4為水(或者臭氧)，其他為空置，設(shè)置前驅(qū)體3的脈沖時(shí)間為：60ms，清洗時(shí)間設(shè)為：10s；設(shè)置前驅(qū)體4的脈沖時(shí)間為：50ms，清洗時(shí)間設(shè)為：30s。
7、設(shè)置載氣流量和循環(huán)次數(shù)：點(diǎn)擊“設(shè)置”，流量設(shè)置為：20；循環(huán)次數(shù)根據(jù)所需樣品厚度而定。
8、開(kāi)始實(shí)驗(yàn)：打開(kāi)相應(yīng)前驅(qū)體的手動(dòng)閥，如果使用臭氧作為反應(yīng)源，氣壓，開(kāi)腔體，取出樣品。
10、抽真空：點(diǎn)擊“泵閥開(kāi)”，氣壓下降后，點(diǎn)擊“進(jìn)氣”，關(guān)閉高純氮的減壓閥，流量下降至1位數(shù)時(shí)，點(diǎn)“設(shè)置”，將將流量重新設(shè)置為：0。
(若下次實(shí)驗(yàn)換另外的源，則需排空，具體操作：點(diǎn)擊“泵閥開(kāi)”，氣壓下降后，點(diǎn)擊“進(jìn)氣”，點(diǎn)擊“模式1”，將前驅(qū)體3的脈沖時(shí)間設(shè)為：500ms，清洗時(shí)間設(shè)為：5s，將前驅(qū)體4的脈沖時(shí)間設(shè)為：1000ms，清洗時(shí)間設(shè)為：10s，關(guān)閉小窗，點(diǎn)擊“開(kāi)始”，100個(gè)循環(huán)后，點(diǎn)擊“結(jié)束”，排空完成。)
11、關(guān)儀器：點(diǎn)擊“設(shè)置”，將1、2和11(水)的溫度設(shè)為：0，將所用源的溫度設(shè)為：0。點(diǎn)擊“泵閥關(guān)”，關(guān)機(jī)械泵，關(guān)總電源，關(guān)普氮、關(guān)水冷。
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