臭氧主要存在于距地球表面20千米的同溫層下部的臭氧層中，含量約50ppm。在常溫常壓下，穩(wěn)定性較差。臭氧具有強烈的刺激性，吸入過量對人體健康有一定危害。臭氧反應活性強，極易分解，很不穩(wěn)定，在常溫下會逐漸分解為氧氣，其性質比氧活潑，比重為一般空氣之1.7倍。其中：氣態(tài)臭氧厚層帶藍色，有特殊臭味，濃度高時與氯的氣味相像；液態(tài)臭氧深藍色，固態(tài)臭氧紫黑色。因此，在臭氧使用場所建議配置臭氧檢測儀，實時對現(xiàn)場的臭氧含量進行監(jiān)測，以人員的安全。 

臭氧檢測儀采用紫外吸收法原理，用穩(wěn)定的紫外線光源產生紫外線，用光波濾光濾除其他波長的紫外線，只允許波長253.7nm通過。臭氧濃度檢測儀主要由低壓紫外線燈、光波濾光片、入射紫外反射器、臭氧吸收電池、樣品光電傳感器、采樣光電傳感器、輸出顯示器和電路元件組成。