GaAs/GaN用快速退火爐使用注意細(xì)節(jié)

來源：北京朗銘潤(rùn)德光電科技有限公司 2021年07月16日 18:01

　　GaAs/GaN用快速退火爐的產(chǎn)品特點(diǎn)：

　　1、控制電路采用模糊PID程序控制技術(shù)，控溫精度高，熱慣性小，無溫度沖擊，性能可靠，操作簡(jiǎn)單。

　　2、中真空系統(tǒng)具有真空度上下限自動(dòng)控制功能。高真空系統(tǒng)采用高壓耐沖擊分子泵，防止意外漏氣損壞分子泵，延長(zhǎng)系統(tǒng)使用壽命。

GaAs/GaN用快速退火爐

　　GaAs/GaN用快速退火爐使用細(xì)節(jié)：

　　1、爐子使用或長(zhǎng)期不用后，應(yīng)120℃烘烤1小時(shí)，300℃烘烤2小時(shí)，以免爐裂。

　　2、爐溫盡量不要超過額定溫度，以免損壞加熱元件和爐襯。

　　3、嚴(yán)禁將各種液體和溶解金屬直接倒入爐內(nèi)，保持爐內(nèi)清潔。

　　4、如果在爐內(nèi)使用石英管，當(dāng)溫度高于1000℃時(shí)，石英管的高溫部分會(huì)出現(xiàn)不透明現(xiàn)象，稱為失透（也稱結(jié)晶），是連續(xù)熔化石英管的固有缺陷，屬正常現(xiàn)象。

　　5、冷爐在使用時(shí)，由于爐子是冷的，需要吸收大量的熱量，所以低溫段的升溫速度不易太快，各溫度段升溫速度的差異不容易太大。設(shè)定升溫速度時(shí)，應(yīng)充分考慮燒結(jié)材料的物理化學(xué)性質(zhì)，以免出現(xiàn)噴濺污染爐管的現(xiàn)象。

　　6、定期檢查溫控系統(tǒng)電氣連接部分是否接觸良好，特別注意加熱元件的連接點(diǎn)是否緊固。

　　7、GaAs/GaN用快速退火爐使用一段時(shí)間后，如果真空度下降，可以更換不銹鋼法蘭盤之間的耐溫硅橡膠圈，或者重新安裝不銹鋼法蘭盤，或者抽真空系統(tǒng)可以更換和維修，以提高系統(tǒng)的整體真空度。

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