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臺(tái)式掃描電子顯微鏡與電子通道襯度的那些事兒
臺(tái)式掃描電子顯微鏡使用發(fā)生匯聚的電子束，轟擊樣品，發(fā)生各種信號(hào)，例如二次電子，背散射電子，吸收電子，X射線等。不同的信號(hào)攜帶有不同的襯度。常見的襯度有形貌襯度和成分襯度。還有一種在晶體資料中常見的襯度就是電子通道襯度，即ECC（Electron Channeling Contrast）襯度。它可以反映不同取向的晶粒以及一些缺陷。
臺(tái)式掃描電子顯微鏡使用中關(guān)于晶體的資料，二次電子和背散射電子的產(chǎn)額與初始電子束與晶面的相對(duì)取向有關(guān)。晶體取向的不同會(huì)造成初始電子被試樣原子散射的機(jī)率發(fā)生差異，從而影響二次電子和背散射電子的產(chǎn)額。兩種不同取向晶粒，關(guān)于A晶粒，電子進(jìn)入該晶粒時(shí)，與原子核發(fā)生磕碰的幾率減小，大概率會(huì)直接通過(guò)往樣品更深處運(yùn)動(dòng)，磕碰減小，往樣品外散射的信號(hào)就會(huì)減小，圖畫中體現(xiàn)的襯度就會(huì)低，比較暗；相反，關(guān)于B晶粒，取向發(fā)生改變，電子進(jìn)入該晶粒中，磕碰幾率提高，發(fā)生的信號(hào)量就會(huì)增加，圖畫中體現(xiàn)的襯度就會(huì)較高，比較亮。因而，晶粒取向不同，對(duì)發(fā)生的信號(hào)量就會(huì)造成影響，通過(guò)將這些信號(hào)搜集起來(lái)進(jìn)行處理就可以對(duì)不同的取向進(jìn)行表征。
在了解了通道襯度是如何構(gòu)成的之后，要如安在樣品上觀察到這種襯度呢？
首先，需求是晶體資料，外表具有良好的晶體結(jié)構(gòu)，因而，關(guān)于樣品制備的要求相關(guān)于常規(guī)掃描樣品要愈加嚴(yán)格。臺(tái)式掃描電子顯微鏡需求對(duì)樣品進(jìn)行拋光處理，取得平坦的外表。一起在機(jī)械拋光完成之后外表仍然存在應(yīng)力層，為了去掉應(yīng)力層，可以選用振蕩拋光，硅膠拋光，電解拋光，或許氬離子拋光，關(guān)于部分資料，也可以直接用相應(yīng)的腐蝕液稍微腐蝕一下，也能很好的去除應(yīng)力層。每種制樣辦法都有各自的優(yōu)缺點(diǎn)，振蕩拋光和選用硅膠拋光的辦法，制備的外表很平坦，可是往往需求較長(zhǎng)的時(shí)刻才干很好的去除應(yīng)力層；電解拋光需求樣品導(dǎo)電，拋光參數(shù)（包含拋光的時(shí)刻電壓電流，電解液的挑選等）需求摸索，拋光的樣品也不適合很大，含有夾雜物或許多相的資料也不適合用電解拋光；氬離子拋光主要有兩種，一種是平面拋光，一種是截面拋光，平面拋光可以在樣品外表接近中心的方位進(jìn)行，可是往往會(huì)帶來(lái)非常顯著的外表浮凸，引入形貌襯度，截面拋光雖然可以取得非常平坦的面，可是只能在邊緣處進(jìn)行，區(qū)域比較小。因而，依據(jù)樣品挑選適宜的制樣辦法，終究取得一個(gè)平坦的無(wú)應(yīng)力層的外表。
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