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超聲顯微鏡，ultrasonic microscope，利用樣品聲學性能的差別，用聲成像的方法來生成高反差、高放大倍率的超聲像的裝置。有吸收式超聲顯微鏡、激光掃描法超聲顯微鏡和布拉格衍射成像法超聲顯微鏡等。用于顯示介質材料內部的微小結構。能觀察材料內部與聲學性質差別有關的結構，這是用普通光學顯微鏡和電子顯微鏡所不能觀察到的。超聲顯微鏡利用物體聲學特性的差異來顯示物體。聲學特性指的是聲阻抗率和聲衰減，它們與物質的彈性和粘彈性有關。聲鏡給出的是物體的聲學像或彈性像。聲鏡還具有一些引人注目的特點，如被測物體不需透光；對于生物組織切片或樣品無需染色，觀察及時；對于大規(guī)模集成電路，毋需損壞樣品表面即可直接進行內層觀察。聲鏡與光鏡和電鏡相互補充，為增進對物質性質的了解提供一種新工具。
掃描顯微鏡的特點在于能夠精確的反映出機械波和微小樣品的彈性介質之間的相互作用，并對從樣品內部反饋回來的信號進行分析！圖像上（C-Scan）的每一個象素對應著從樣品內某一特定深度的一個二維空間坐標點上的信號反饋，具有良好功能的Z.A傳感器同時能夠發(fā)射和接收機械波。
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