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飛納掃描電鏡在質(zhì)檢工作中一直起著非常重要的作用，廣泛應(yīng)用于金屬材料、無機非金屬材料以及高分子材料的微觀形貌分析檢測等工作中。由于傳統(tǒng)的高真空掃描電鏡難干直接觀察檢測不導(dǎo)電樣品，而對非導(dǎo)電樣品進(jìn)行噴金成者噴碳處理后雖然可以用傳統(tǒng)的掃描電鏡進(jìn)行檢測，但是這使得檢測過程費時費力，而且對于樣品的微觀形貌會造成影響和干擾，在用掃描電鏡的能譜儀配件進(jìn)行樣品的成分檢測時也會影響到檢測結(jié)果，對于含水樣品及不適合噴金處理的半導(dǎo)體樣品，傳統(tǒng)的掃描電鏡則不適合進(jìn)行檢測工作。因此，傳統(tǒng)的高真空掃描電鏡在質(zhì)檢工作中有很大的局限性。
飛納掃描電鏡的發(fā)展極大的擴展了掃描電鏡在質(zhì)檢中的應(yīng)用，而且極大的節(jié)省了樣品的處理時間與樣品的檢測時間，并且降低了檢測結(jié)果的各種干擾因素，使得檢測結(jié)果更準(zhǔn)確。
飛納掃描電鏡的發(fā)展極大的擴展了掃描電鏡在質(zhì)檢中的應(yīng)用，而且極大的節(jié)省了樣品的處理時間與樣品的檢測時間，并且降低了檢測結(jié)果的各種干擾因素，使得檢測結(jié)果更準(zhǔn)確。
常規(guī)掃描電鏡的樣品室的真空度要求一般要小于10-3Pa，對樣品的要求比較高。樣品需要通過復(fù)雜的處理過程才能進(jìn)行檢測，而處理樣品則需要浪費很大的人力和物力，并且處理樣品的過程會對樣品的微觀形貌造成影響，會影響樣品檢測的結(jié)果。而飛納掃描電鏡則可以直接觀察不導(dǎo)電的樣品或者動植物樣品，這擴展了掃描電鏡的應(yīng)用范圍，減低了人力物力，并且可以提高檢測精度。
很多樣品內(nèi)部不是致密結(jié)構(gòu)，如水泥、多孔陶瓷、粉末冶金制品等，在使用傳統(tǒng)顯微鏡時，樣品室在抽真空時會比較困難，即使達(dá)到真空要求也需要較長的時間，對于強度弱的樣品甚至?xí)茐臉悠?對掃描電鏡的使用壽命也會受到影晌。低真空掃描電子顯微鏡則不存在這些問題。
傳統(tǒng)高真空掃描電鏡在對不導(dǎo)電樣品進(jìn)行成分分析時，可以通過噴金鍍膜處理，但噴金處理會在樣品表面增加一層金屬膜，對其成分分析會造成影響。不導(dǎo)電樣品不進(jìn)行鍍膜處理，可以選擇較低的電壓對樣品進(jìn)行觀察，但是不能進(jìn)行成分分析。低真空掃描電鏡則可以直接對不導(dǎo)電樣品進(jìn)行觀測的同時直接檢測樣品的化學(xué)成分。
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