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賽默飛X射線熒光光譜儀主要包括光源、激發(fā)單色器、樣品池、熒光單色器及檢測器等主要部件。
1．光源
早期的熒光分光光度計，配有能發(fā)生很窄汞線的低壓汞燈。使用高壓汞燈，譜線被加寬，而且也存在高強度的連續(xù)帶。然而，一個完整的激發(fā)光譜的測定需一種能發(fā)射從可見到紫外范圍的較高強度的光輻射的燈。氙弧燈能適于此條件，因此，它是目前在熒光分光光度計中廣泛使用的光源。
2．單色器
單色器的作用是把光源發(fā)出的連續(xù)光譜分解成單色光，并能準(zhǔn)確方便地“取出”所需要的某一波長的光，它是光譜儀的心臟部分。單色器主要由狹縫、色散元件和透鏡系統(tǒng)組成，其中色散元件是關(guān)鍵部件。色散元件是棱鏡和反射光柵或兩者的組合，它能將連續(xù)光譜色散成為單色光。
（1）棱鏡單色器
棱鏡單色器是利用不同波長的光在棱鏡內(nèi)折射率不同將復(fù)合光色散為單色光的。棱鏡色散作用的大小與棱鏡制作材料及幾何形狀有關(guān)。常用的棱鏡用玻璃或石英制成。可見分光光度計可以采用玻，它適用于紫外、可見整個光譜區(qū)。
?。?）光柵單色器
光柵作為色散元件具有不少*的優(yōu)點。光柵可定義為一系列等寬、等距離的平行狹縫。光柵的色散原理是以光的衍射現(xiàn)象和干涉現(xiàn)象為基礎(chǔ)的。常用的光柵單色器為反射光柵單色器，它又分為平面反射光柵和凹面反射光柵兩種，其中常用的是平面反射光柵。光柵單色器的分辨率比棱鏡單色器分辨率高（可達±0.2nm），而且它可用的波長范圍也比棱鏡單色器寬，且入射光80%的能量在一級光譜中。近年來，光柵的刻制復(fù)制技術(shù)也在不斷地改進，其質(zhì)量也在不斷的提高，因而其應(yīng)用日益廣泛。
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