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高分辨率掃描電鏡是電子顯微鏡的一種，其原理是利用二次電子或背散射電子成像，對樣品表面放大一定的倍數(shù)進(jìn)行形貌觀察，同時利用電子激發(fā)出樣品表面的特征X射線來對微區(qū)的成分進(jìn)行定性定量分析，是我們材料研究分析中一雙亮麗的“眼睛”。掃描電鏡按照電子槍分類可以分為鎢(W)燈絲、六硼化鑭(LaB6)燈絲、場發(fā)射三種，場發(fā)射掃描電鏡相比于鎢燈絲、六硼化鑭，具有電子束斑小、高分辨率、穩(wěn)定性好等特點。
高分辨率掃描電鏡的檢測范圍：
1.金屬、陶瓷、高分子、礦物、半導(dǎo)體、紙張、化工產(chǎn)品的顯微形貌觀察及材料的晶體結(jié)構(gòu)、相組織分析；
2.各種材料微區(qū)化學(xué)成分的定性定量檢測；
3.粉末、微粒、納米樣品形態(tài)觀察和粒度測定；
4.機(jī)械零件與工業(yè)產(chǎn)品的失效分析；
5.鍍層厚度、成分與質(zhì)量測定；
6.生物、醫(yī)學(xué)和農(nóng)業(yè)等領(lǐng)域。
高分辨率掃描電鏡的基本構(gòu)造：
1.電子槍：也稱電子源，產(chǎn)生連續(xù)不斷的穩(wěn)定的電子流。場發(fā)射電子槍與普通鎢絲電子槍有所不同，陰極呈桿狀，在它的一端有個極鋒利的尖點(直徑小于100nm)，頂端的電場*，電子直接依靠“隧道”穿過勢壘離開陰極，由加速電壓加速產(chǎn)生高速電子流飛向樣品。一般來說，掃描電鏡加速電壓通常為1-30kV。
2.電子透鏡：將從電子槍發(fā)射出來的電子匯聚成直徑最小為1-5nm電子束。
3.掃描系統(tǒng)：使電子束作光柵掃描運動。
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