由永磁動圈式力馬達、一對固定節(jié)流孔、預(yù)開口雙邊滑閥式前置液壓放大器和三通滑閥式功率級組成。前置控制滑閥的兩個預(yù)開口節(jié)流控制邊與兩個固定節(jié)流孔組成一個液壓橋路?；y副的閥心（控制閥芯）直接與力馬達的動圈骨架相連，（控制閥芯）在閥套內(nèi)滑動。前置級的閥套又是功率級滑閥放大器的閥心。輸入控制電流使力馬達動圈產(chǎn)生的電磁力與對中彈簧的彈簧力相平衡，使動圈和前置級（控制級）閥心（控制閥芯）移動，其移量與動圈電流成正比。前置級閥心（控制閥芯）若向右移動，則滑閥右腔控制口·面積增大，右腔控制壓力降低；左側(cè)控制口·面積減小，左腔控制壓力升高。該壓力差作用在功率級滑閥閥心（即前置級的閥套）的兩端上，使功率級滑閥閥心（主滑閥）向右移動，也就是前置級滑閥的閥套（主滑閥）向右移動，逐漸減小右側(cè)控制孔的面積，直至停留在某位置。在此位置上，前置級滑閥副的兩個可變節(jié)流控制孔的面積相等，功率級滑閥閥心（主滑閥）兩端的壓力相等。這種直接反饋的作用，使功率級滑閥閥心跟隨前置級動射流管，負(fù)載慣量大，響應(yīng)速度低于噴嘴擋板閥。
滑閥式伺服閥
由永磁動圈式力馬達、一對固定節(jié)流孔、預(yù)開口雙邊滑閥式前置液壓放大器和三通滑閥式功率級組成。前置控制滑閥的兩個預(yù)開口節(jié)流控制邊與兩個固定節(jié)流孔組成一個液壓橋路。滑閥副的閥心（控制閥芯）直接與力馬達的動圈骨架相連，（控制閥芯）在閥套內(nèi)滑動。前置級的閥套又是功率級滑閥放大器的閥心。輸入控制電流使力馬達動圈產(chǎn)生的電磁力與對中彈簧的彈簧力相平衡，使動圈和前置級（控制級）閥心（控制閥芯）移動，其移量與動圈電流成正比。前置級閥心（控制閥芯）若向右移動，則滑閥右腔控制口·面積增大，右腔控制壓力降低；左側(cè)控制口·面積減小，左腔控制壓力升高。該壓力差作用在功率級滑閥閥心（即前置級的閥套）的兩端上，使功率級滑閥閥心（主滑閥）向右移動，也就是前置級滑閥的閥套（主滑閥）向右移動，逐漸減小右側(cè)控制孔的面積，直至停留在某位置。在此位置上，前置級滑閥副的兩個可變節(jié)流控制孔的面積相等，功率級滑閥閥心（主滑閥）兩端的壓力相等。這種直接反饋的作用，使功率級滑閥閥心跟隨前置級
液壓伺服閥結(jié)構(gòu)及工作滑閥式伺服閥用動圈式力馬達，結(jié)構(gòu)簡單，功率放大系數(shù)較大，滯環(huán)小和工作行程大；固定節(jié)流口尺寸大，不易被污物堵塞；主滑閥兩端控制油壓作用面積大，從而加大了驅(qū)動力，使滑閥不易卡死，工噴嘴擋板式伺服閥：該伺服閥，由于力反饋的存在，使得力矩馬達在其零點附近工作，即銜鐵偏轉(zhuǎn)角θ很小，故線性度好。此外，改變反饋彈簧桿11的剛度，就能在相同輸入電流時改變滑閥的位移。該伺服閥結(jié)構(gòu)緊湊，外形尺寸小，響應(yīng)快。但噴嘴擋板的工作間隙較小，對油液的清潔度要求較高射流管式伺服閥：對油液的清潔度要求較低。缺點是零位泄漏量大；受油液粘度變化影響顯著，低溫特差；力矩馬達帶動射流管，負(fù)載慣量大，響應(yīng)速度低于噴嘴擋板閥滑閥式伺服閥由永磁動圈式力馬達、一對固定節(jié)流孔、預(yù)開口雙邊滑閥式前置液壓放大器和三通滑閥式功率級組成。前置控制滑閥的兩個預(yù)開口節(jié)流控制邊與兩個固定節(jié)流孔組成一個液壓橋路?；y副的閥心（控制閥芯）直接與力馬達的動圈骨架相連，（控制閥芯）在閥套內(nèi)滑動。前置級的閥套又是功率級滑閥放大器的閥心。輸入控制電流使力馬達動圈產(chǎn)生的電磁力與對中彈簧的彈簧力相平衡，使動圈和前置級（控制級）閥心（控制閥芯）移動，其移量與動圈電流成正比。前置級閥心（控制閥芯）若向右移動，則滑閥右腔控制口·面積增大，右腔控制壓力降低；左側(cè)控制口·面積減小，左腔控制壓力升高。該壓力差作用在功率級滑閥閥心（即前置級的閥套）的兩端上，使功率級滑閥閥心（主滑閥）向右移動，也就是前置級滑閥的閥套（主滑閥）向右移動，逐漸減小右側(cè)控制孔的面積，直至停留在某位置。在此位置上，前置級滑閥副的兩個可變節(jié)流控制孔的面積相等，功率級滑閥閥心（主滑閥）兩端的壓力相等。這種直接反饋的作用，使功率級滑閥閥心跟隨前置級