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對測量儀精度評定或?qū)嵤┱`差修正，要以坐標測量機固有誤差的模型為基礎(chǔ)，其中，必須給出各誤差項的定義，分析，傳遞及誤差合成后的總誤差。所謂的總誤差，在測量儀的精度檢定中，是指反映坐標測量機精度特性的綜合誤差，即指示精度，重復(fù)精度等：在測量儀的誤差修正技術(shù)中，則是指空間點的矢量誤差。
一、機構(gòu)誤差分析：
測量儀的機構(gòu)特征，導(dǎo)軌對被它引導(dǎo)的部件限制五個自由度，測量系統(tǒng)控制運動方向上的第六個自由度，因此導(dǎo)向部件在空間的位置，由導(dǎo)軌及其所屬的測量系統(tǒng)確定。
二、測頭誤差分析：
三坐標測量儀的測頭分為兩種：接觸式測頭按其結(jié)構(gòu)又分為開關(guān)式和掃描式兩大類。開關(guān)式測頭的誤差由開關(guān)行程，測頭各向異性，開關(guān)行程分散性，復(fù)位死區(qū)等引起。掃描式測頭的誤差由測力一位移關(guān)系，位移一位移關(guān)系，交叉耦合干擾等引起。
測頭的開關(guān)行程為測頭與工件接觸至測頭發(fā)訊，測頭所偏擺的一段距離。這是測頭的系統(tǒng)誤差。測頭的各向異性是開關(guān)行程在各個方向上的不一致性。它是系統(tǒng)誤差，但通常作隨機誤差處理。開關(guān)行程的分解性指重復(fù)測量時開關(guān)行程的離散程度。實際測量時，以某一方向開關(guān)行程的標準偏差計算。
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