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短波紅外相機(jī)可以用來檢測純半導(dǎo)體材料的質(zhì)量（通常是硅錠的生長）。此外，切割成晶片的硅錠和晶片成品，也可以用類似的方法檢測缺陷或裂紋。然后將晶片加工成光電子元器件或其他半導(dǎo)體器件。在切割晶圓成為單芯片的加工過程中，對于鋸片和激光校準(zhǔn)來說，短波紅外相機(jī)依舊是目前應(yīng)用的主流方案。
為了進(jìn)行失效分析，已經(jīng)裝配好的集成電路必須進(jìn)行裂紋或光刻檢測。整個生產(chǎn)流程中都需要進(jìn)行檢測。而在這些應(yīng)用中，都少不了短波紅外相機(jī)的身影。
短波紅外相機(jī)，包括面陣和線掃描相機(jī)，目前已經(jīng)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)中的晶體硅硅錠或硅磚檢測。使用一臺紅外相機(jī)，配合發(fā)射波長在1150nm波段的光源，很輕易的就可以進(jìn)行硅錠或硅磚的內(nèi)部雜志和結(jié)構(gòu)的檢測。這是因?yàn)檫@種半導(dǎo)體材料不吸收能量低、相對波長更長的短波紅外光子，而可見光光子則因具有更高的能量和相對更短的波長被Si材料吸收，無法透過。這使得使用短波紅外相成為了半導(dǎo)體檢測的優(yōu)良檢測工具，可以直接檢測缺陷、雜質(zhì)、孔洞或夾雜。
當(dāng)硅錠進(jìn)一步加工成為晶片時，硅錠中的雜質(zhì)會對生產(chǎn)設(shè)備造成損害。通過短波紅外相機(jī)的檢測，則可以有效避免類似的問題，從而確保更高的生產(chǎn)效率。使用短波紅外相機(jī)成像的方式，來檢測半導(dǎo)體晶片和集成電路芯片的缺陷，將會起到事半功倍的效果。Si材料是目前zui常用的半導(dǎo)體材料，而砷化鎵（GaAs）探測器又能夠探測到穿過Si材料的短波紅外波段，因此InGaAs短波紅外相機(jī)為半導(dǎo)體檢測提供了一種無損的檢測方式，大大地提高了檢測效率，改進(jìn)了生產(chǎn)過程。
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