林賽斯薄膜激光導熱測量儀TF-LFA概述

材料的熱物理性質(zhì)以及最終產(chǎn)品的傳熱優(yōu)化在工業(yè)應用領(lǐng)域變得越來越重要。

經(jīng)過幾十年的發(fā)展，閃射法已經(jīng)成為樶常用的用于各種固體、粉末和液體熱導率、熱擴散系數(shù)的測量方法。

薄膜熱物性在工業(yè)產(chǎn)品中正變得越來越重要，如：相變光盤介質(zhì)、熱電材料、發(fā)光二極管(LED ) ，相變存儲器、平板顯示器以及各種半導體。在這些工業(yè)領(lǐng)域中，特定功能沉積膜生長在基底上以實現(xiàn)器件的特殊功能。由于薄膜的物理性質(zhì)與塊體材料不同，在許多應用中需要專門測定薄膜的參數(shù)。

基于已實現(xiàn)的激光閃射技術(shù)，LINSEIS TF-LFA 薄膜導熱測試儀(Laserflash for thin films)可以測量80nm——20μm厚度薄膜的熱物理性質(zhì)。

1.瞬態(tài)熱反射法(后加熱前檢測(RF)):

由于薄膜材料的物理性質(zhì)與基體材料顯著不同，必需要有相應的技術(shù)來克服傳統(tǒng)激光閃射法的不足，即瞬態(tài)熱閃射法。

測量模型與傳統(tǒng)激光閃射法相同：檢測器和激光器在樣品兩側(cè)?？紤]到紅外探測器測試薄膜太慢，因此檢測是通過熱反射方法完成的。該技術(shù)的原理是材料在加熱時，表面反射率的變化可最終用于推導出熱性能。測量反射率隨時間的變化，得到的數(shù)據(jù)代入包含的系數(shù)模型里面并快速計算出熱性能。

2. 時域熱反射法(前加熱前檢測(FF)):

時域熱反射技術(shù)是另一種測試薄層或薄膜熱性能(熱導率，熱擴散率)的方法。測量方式的幾何構(gòu)造被稱為“前加熱前檢測(FF)”，因為檢測器和激光在樣品上的同一側(cè)。該方法可以應用于非透明基板上不適合使用RF技術(shù)的薄膜層。

3. 瞬態(tài)熱反射法(RF)和時域熱反射法(FF)相結(jié)合:

兩種方法可以集成在一個系統(tǒng)中并實現(xiàn)兩者優(yōu)點的結(jié)合。