探究經(jīng)等離子處理后的PDMS實(shí)現(xiàn)不可逆鍵合的*工藝參數(shù)。

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設(shè)計(jì)科學(xué)的試驗(yàn)方法

在工藝優(yōu)化中，應(yīng)用最多的試驗(yàn)設(shè)計(jì)方法為正交設(shè)計(jì)。等離子處理法涉及的主要工藝參數(shù)有三個(gè)：射頻功率，空氣流量，改性時(shí)間。不同的參數(shù)組合，會(huì)產(chǎn)生不同的改性效果，其主要體現(xiàn)在鍵合面積百分比大小，所以以鍵合面積百分比為指標(biāo)。為找出三種參數(shù)最佳組合，需要做大量的試驗(yàn)，為了減少成本，提高效率，需要采取正確試驗(yàn)方法。正交試驗(yàn)在全面樣品試驗(yàn)點(diǎn)中挑出具有代表性的樣品點(diǎn)進(jìn)行試驗(yàn)，這些點(diǎn)具有“均勻分散，齊整可比”的特點(diǎn)，其*的代表性使正交試驗(yàn)法成為分式析因設(shè)計(jì)的主要方法，是一種快速、經(jīng)濟(jì)、高效率的試驗(yàn)方法。

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各參數(shù)對(duì)鍵合強(qiáng)度的影響

保持空氣流量與改性時(shí)間不變只變動(dòng)射頻功率時(shí)，PDMS／PDMS的鍵合強(qiáng)度隨著射頻功率增大而逐漸增大，表明射頻功率越大，等離子處理對(duì)PDMS表面改性作用增強(qiáng)。保持射頻功率與改性時(shí)間不變只變動(dòng)空氣流量時(shí)，PDMS／PDMs的鍵合強(qiáng)度隨著空氣流量的增大而逐漸增大，表明空氣流量的增大對(duì)鍵合強(qiáng)度有促進(jìn)作用。

保持射頻功率與空氣流量不變只變動(dòng)改性時(shí)間，PDMS／PDMS的鍵合強(qiáng)度并沒(méi)有隨著改性時(shí)間的增大而增大，而是先增大后減小，可見(jiàn)改性時(shí)間在一定范圍內(nèi)可以增大鍵合強(qiáng)度，但超過(guò)某一臨界值，促進(jìn)作用減小，甚至有副作用。

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工藝參數(shù)分析

對(duì)于等離子法處理時(shí)，射頻功率越高越好，改性時(shí)間越久越好，中低頻對(duì)表面的改性效果較差，高頻對(duì)表面的改性效果較好。