德國FESTO傳感器的精度誤差是有些參數(shù)確定

    德國FESTO傳感器簡單的數(shù)學模型也就為傳遞函數(shù)。這種模型可在整個標定過程中進行優(yōu)化，而且模型的成熟度將隨標定點的增加而增加。

    在計量學的角度看，測量誤差包含有相當嚴格的定義：它表征了測量壓力與實際壓力之間的差異。而通常無法直接得到實際壓力，但可以通過采用適當?shù)膲毫藴始右怨烙?，計量人員通常采用那些精度比被測設備高出至少 10 倍的儀器作為測量標準。

    由于未經(jīng)標定的系統(tǒng)只能使用典型的靈敏度以及偏移值將輸出電壓轉(zhuǎn)換為壓力，測得的壓力將產(chǎn)生如圖 1 所示的誤差。

    這種沒有經(jīng)標定的初始誤差由以下幾個部分組成：

    a. 偏移量誤差。因為在整個壓力范圍內(nèi)垂直偏移保持恒定，所以變換器擴散和激光調(diào)節(jié)修正的變化將產(chǎn)生偏移量誤差。

    b. 靈敏度誤差，產(chǎn)生誤差大小與壓力成正比。如果設備的靈敏度高于典型值，靈敏度誤差將是壓力的遞增函數(shù)。如果靈敏度低于典型值，那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數(shù)。這種誤差的產(chǎn)生原因在于擴散過程的變化。

    c. 線性誤差。這是一個對初始誤差影響較小的因素，該誤差的產(chǎn)生原因在于硅片的物理非線性，不過對于帶放大器的傳感器，還應包括放大器的非線性。線性誤差曲線可以是凹形曲線，也可以是凸形曲線。

    d. 滯后誤差：在大多數(shù)情形中，滯后誤差*可以忽略不計，因為硅片具有很高的機械剛度。一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。

    標定可以消除或大地減小這些誤差，而補償技術通常要求確定系統(tǒng)實際傳遞函數(shù)的參數(shù)，而不是簡單的使用典型值。電位計、可調(diào)電阻以及其他硬件均可在補償過程中采用，然而軟件則能更靈活地實現(xiàn)這種誤差補償工作。

    一點標定法可通過消除傳遞函數(shù)零點處的漂移來補償偏移量誤差，這類型標定方法稱為自動歸零。

    偏移量標定通常在零壓力下進行，特別是在差動傳感器中，因為在標稱條件下差動壓力通常為 0 。對于純傳感器，偏移量標定則要困難一些，因此它要么需要一個壓力讀取系統(tǒng)，用在測量其在環(huán)境大氣壓力條件下的標定壓力值，要么需要獲取期望壓力的壓力控制器。

    變動傳感器的零壓力標定非常，所以標定壓力嚴格為 0 。還有一方面，壓力不為 0 時的標定度取決于壓力控制器或測量系統(tǒng)的性能。

    選擇標定壓力

    標定壓力的選取非常重要，因為其決定了獲取佳精度的壓力范圍。實際上，經(jīng)過標定后實際的偏移量誤差在標定點處小并一直保持較小的值。所以，標定點必須根據(jù)目標壓力范圍加以選擇，而壓力范圍可以不與工作范圍相一致。

    為了把輸出電壓轉(zhuǎn)換為壓力值，因為實際的靈敏度往往是未知，所以在數(shù)學模型中通常采用典型靈敏度進行單點標定。

    紅色曲線表示進行偏移量標定( PCAL=0 )后的誤差曲線，可以發(fā)現(xiàn)誤差曲線相對于表示標定前誤差的黑色曲線產(chǎn)生了垂直偏移。

    這類型的標定方法和一點標定法相比要求更為嚴格，實現(xiàn)成本也更高。然而與一點標定法相比，這種方法可顯著提高系統(tǒng)的精度，因為該方法不僅標定了偏移量，還標定了傳感器的靈敏度。因此在誤差計算中可以使用靈敏度實際值，而非典型值。

    綠色曲線表示精度提高。就在這里，標定是在 0 至 500 兆巴(滿標度)條件下進行。因為在標定點上誤差接近于 0 ，所以為了在期望的壓力范圍內(nèi)得到小的測量誤差，正確地設定這些點就顯得尤為重要。某些應用中要求在整個壓力范圍內(nèi)保持較高的度。在這些應用中，可以采用多點標定法來得到理想的結(jié)果。在多點標定法中，不僅考慮了偏移量和靈敏度誤差，還考慮了大部分的線性誤差，紫紅色曲線所示。這兒用的數(shù)學模型與每個標定間距(在兩個標定點之間)的兩級標定*一樣。

    德國FESTO傳感器種類豐富多樣，這就使得設計工程師可以選擇系統(tǒng)所需的壓力傳感器。這些傳感器既包括了基本的變換器，也可以包括更為復雜的帶有片上電路的高集成度傳感器。因為存在這些差異，設計工程師必須盡可能夠補償壓力傳感器的測量誤差，這就保證傳感器滿足設計以及應用要求的重要步驟。就在某些情況下，補償還能提高德國FESTO傳感器在應用中的整體性能。

    德國FESTO傳感器偏移量、范圍標定和溫度補償均可以通過薄膜電阻網(wǎng)絡實現(xiàn)，這類型薄膜電阻網(wǎng)絡在封裝過程中采用激光修正。

    德國FESTO傳感器通常以及微控制器結(jié)合使用，然而微控制器的嵌入軟件本身建立了傳感器數(shù)學模型。微控制器讀取了輸出電壓后，通過模數(shù)轉(zhuǎn)換器的變換，這種模型可以把電壓量轉(zhuǎn)換為壓力測量值。

德國FESTO傳感器的精度誤差是有些參數(shù)確定