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塵埃粒子計(jì)數(shù)器是一種在潔凈領(lǐng)域應(yīng)用廣泛的重要儀器
隨著工業(yè)化生產(chǎn)環(huán)境對(duì)潔凈度的要求不斷提高，激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器技術(shù)得到了快速蓬勃的發(fā)展。從軍工領(lǐng)域邁進(jìn)民用，從技術(shù)滲透進(jìn)社會(huì)各個(gè)層面，以激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器為代表的潔凈技術(shù)正在逐步提高人類社會(huì)的生產(chǎn)能力、改善人類的居住環(huán)境。在半導(dǎo)體制造業(yè)中，社會(huì)對(duì)電子元件尺寸要求愈加苛刻，生產(chǎn)加工環(huán)境的潔凈度將直接影響產(chǎn)品的合格率，據(jù)統(tǒng)計(jì)約超過80%因?yàn)殡妼W(xué)特性失效的電子芯片是由于生產(chǎn)環(huán)境中塵埃粒子的污染造成以半導(dǎo)體材料硅片為例，空氣的塵埃粒子能引起芯片電路元件開路或者短路。而在醫(yī)療衛(wèi)生領(lǐng)域，藥品生產(chǎn)過程需要盡可能避免塵埃粒子、微生物等顆粒的污染。
塵埃粒子計(jì)數(shù)器是一種在潔凈領(lǐng)域應(yīng)用廣泛的重要儀器，主要用于評(píng)定潔凈室潔凈度等級(jí)，還可用來檢測過濾器的過濾效率、潔凈織物的發(fā)塵量。使用的行業(yè)包含電子廠、藥廠、醫(yī)療器械廠以及檢測實(shí)驗(yàn)室等等。是利用光的散射原理對(duì)空氣中的塵埃粒子數(shù)目和粒徑進(jìn)行計(jì)量，工作原理：來自光源的光線被透視鏡組聚焦于檢測區(qū)域，塵埃粒子計(jì)數(shù)器通過采樣泵使采樣空氣通過該區(qū)域。當(dāng)一個(gè)塵埃粒子（簡稱粒子）通過時(shí)，便把入射光散射一次，產(chǎn)生一個(gè)光脈沖信號(hào)，經(jīng)過放大、甄別，篩選出需要的信號(hào)，再通過計(jì)數(shù)系統(tǒng)顯示出來，電脈沖信號(hào)的高度反映粒子的大小，信號(hào)的數(shù)量反映了粒子的個(gè)數(shù)。主要關(guān)注的技術(shù)指標(biāo)就是粒子的大小和個(gè)數(shù)。
塵埃粒子計(jì)數(shù)器是應(yīng)用Mie氏散射原理測量流體中單分散塵埃粒子的散射光強(qiáng)度以判斷粒子粒徑的精密計(jì)數(shù)儀器。以規(guī)定的流量從待測樣品中進(jìn)行采樣，采樣氣流的粒子在通過激光均勻照明的光敏感區(qū)域時(shí)，塵埃粒子產(chǎn)生散射光，散射光收集系統(tǒng)把一定范圍內(nèi)的散射光光通量收集起來并由光電傳感器轉(zhuǎn)換為脈沖電壓信號(hào)。
脈沖信號(hào)的幅度和粒子粒徑的大小成正比，可采用電壓幅度甄別器來甄別脈沖信號(hào)電壓的幅值，再送出數(shù)據(jù)進(jìn)行處理。由于微米量級(jí)的粒子散射光強(qiáng)度很弱，需將信號(hào)前置放大為幅值足夠的電脈沖信號(hào)，再進(jìn)行信號(hào)非線性放大處理。然后根據(jù)電脈沖幅值的大小甄別以送入不同粒徑檔通道計(jì)數(shù)，在顯示器顯示一個(gè)計(jì)數(shù)周期內(nèi)各個(gè)計(jì)數(shù)檔的粒子數(shù)目。
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