以輝光放電或高頻放電（其它放電方式也 類同）產(chǎn)生低溫等離子體時(shí)，首先是自由電子從 電場(chǎng)中獲得能量，成為高能量電子，當(dāng)這種高能 鼠電子與氣體中的分子或原子碰撞時(shí)，如電子 的能量比分子或原子的激發(fā)能大，就可以產(chǎn)生 激發(fā)分子或激發(fā)原子、自由基、離子和各種能量 的輻射線等.這些不穩(wěn)定的粒子和輻射線，將 通過(guò)不同的方式將其能量轉(zhuǎn)移到置于系統(tǒng)中的 高分子材料表面，從而產(chǎn)生種種物理化學(xué)反應(yīng)。

低溫等離子體中的中性粒子，如原子、激發(fā) 態(tài)分子或原子等，將其平動(dòng)能和振動(dòng)能傳給高 分子材料，使后者表面加熱。而其離解能（自由 基）則通過(guò)在高分子材料表面進(jìn)行的消除、加 成、氧化等化學(xué)反應(yīng)而消耗掉，駕可以通過(guò)在固 體表面進(jìn)行自由基復(fù)合而形成加熱。激發(fā)態(tài)原 子，或是以輻射光量子的形式釋放出原來(lái)吸收 的能量返回基態(tài)，或是過(guò)渡到具有io-*-10- 秒壽命的亞穩(wěn)態(tài)，再與高分子材料表面作用，使 后者表面大分子產(chǎn)生自由基。

低溫等離子體中的荷電粒子，主要是電子 和帶正電荷的正離子，它們的濃度為10"cmT 左右，比中性粒子濃度要低得多。,具有較高動(dòng) 能的電子轟擊到材料表面，使其產(chǎn)生大分子自 由基。正離子的動(dòng)能較低，但其攜帶的電能足 夠高時(shí)，可使高分子材料表面由于電子轉(zhuǎn)移，而 產(chǎn)生大分子離子。