日立掃描電鏡噴金幾乎可以對(duì)所有類型的樣本進(jìn)行圖像處理,陶瓷、金屬、合金、半導(dǎo)體、聚合物、生物樣品等。然而,某些特定類型的樣品更具有挑戰(zhàn)性,并且需要操作者進(jìn)行額外的樣品制備,以便借助掃描電鏡噴金收集高質(zhì)量圖片。這些額外的步驟包括在樣品中表面濺射一個(gè)額外的導(dǎo)電薄層材料,如金、銀、鉑或鉻等。
日立掃描電鏡噴金幾乎可以對(duì)所有類型的樣本進(jìn)行圖像處理,陶瓷、金屬、合金、半導(dǎo)體、聚合物、生物樣品等。然而,某些特定類型的樣品更具有挑戰(zhàn)性,并且需要操作者進(jìn)行額外的樣品制備,以便借助掃描電鏡噴金收集高質(zhì)量圖片。這些額外的步驟包括在樣品中表面濺射一個(gè)額外的導(dǎo)電薄層材料,如金、銀、鉑或鉻等。掃描電鏡噴金中的電子束具有較高能量,在與樣品的相互作用過程中,它以熱的形式將部分能量傳遞給樣品。
如果樣品是由電子束敏感的材料制成,那么,這種相互作用會(huì)破壞部分甚至整個(gè)樣品結(jié)構(gòu)。而噴金前沾導(dǎo)電膠,導(dǎo)電膠能夠固定樣品,噴金能夠暴露于空氣的樣品上附著使導(dǎo)電。想一些高分子做sem的時(shí)候常要噴金。普通的透過式光學(xué)顯微鏡的信號(hào)源是光子,如果樣品不透光,就拍不出來照片,如果樣品透光性不好,照片質(zhì)量會(huì)比較差。SEM的信號(hào)源是電子束,如果導(dǎo)電性不好,分辨率神馬的會(huì)差很多。
使用日立掃描電鏡噴金前需要噴金的第一類樣品是電子束敏感樣品。這類樣品主要是生物樣品,但也可能是其他種類,例如塑料材料。
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