日本日立場發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus8200概述

“Regulus系列”是日立高新技術(shù)的FE-SEM的全新品牌，包括作為SU8010的后續(xù)機型開發(fā)的 “Regulus8100” 以及SU8200系列的升級 “Regulus8220” “Regulus8230” “Regulus8240″，共4個機型，均實現(xiàn)了分辨率和操作性的強化。

掃描電子顯微鏡(SEM)被廣泛應用于納米技術(shù)，半導體?電子行業(yè)，生命科學，材料科學等領域的材料結(jié)構(gòu)觀察。近年來，新一代的電子器件應用中受到廣泛期待的新型碳材料，高分子材料，復合材料等的研究作為*科學技術(shù)的中堅技術(shù)，在全SHI界范圍內(nèi)受到熱捧。掃描電子顯微鏡廣泛用于這些材料的觀察?評價，但僅僅具有超高分辨率還遠遠不夠。還要求能在低加速電壓下對表面細微結(jié)構(gòu)的觀察和高靈敏度的元素分析。除此之外，在長期的研究過程中還追求電鏡的性能的持續(xù)穩(wěn)定和信賴性。

本次發(fā)布的新品牌 “Regulus系列” 電子光學系統(tǒng)進行了優(yōu)化處理，使得著陸電壓在1kV時分辨率較前代機型提高了約20%。”Regulus8220/8230/8240″達到0.9nm，”Regulus8100″為1.1 nm的分辨率。另外，樶適合低加速電壓下高分辨觀察的冷場電子槍可將樣品的細節(jié)放大，并獲得高質(zhì)量的圖片。最大放大倍率也由之前的100萬倍提高到了200萬倍。

除此之外，為了能更好的應對不同樣品的測試和保持并發(fā)揮出高性能，還對用戶輔助工能進行了強化，如信號檢測系統(tǒng)的操作輔助功能，維護輔助功能等。

日本日立場發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus8200特點

★ 搭載了色差極小的適合低加速電壓高分辨率觀察的冷場電子槍
★ 跟前代機型相比分辨率大約提高了20%(Regulus8220/8230/8240：0.9 nm/1 kV，Regulus8100s：1.1 nm/1 kV)
★ 最大倍率從原來的100萬倍提高到200萬倍*1
★ 用戶輔助功能，幫助用戶把儀器的高性能*發(fā)揮出來

極低著陸電壓下高分辨觀察

樣品：金顆粒

著陸電壓：10 V

超高分辨觀察

樣品：Pt催化劑

加速電壓：30 kV

低加速電壓下高分辨EDX分析

樣品：Sn球

著陸電壓：1.5 kV

*2 僅限Regulus8240/8230/8220