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徠卡真空鍍膜儀包括機(jī)架，機(jī)架上設(shè)有真空室，真空室內(nèi)設(shè)有載物臺(tái)；載物臺(tái)設(shè)置在真空室的上腔體中，真空室的下腔體中設(shè)有電蒸發(fā)系統(tǒng)，電蒸發(fā)系統(tǒng)包括陶封電極，陶封電極包括公共電極及一個(gè)以上的負(fù)極，公共電極與負(fù)極之間連接有鎢體。通過(guò)鎢體，依靠電蒸發(fā)系統(tǒng)和真空腔室，采用從下往上的蒸發(fā)方式，大大的提高了蒸發(fā)的效率，可簡(jiǎn)單并有效的滿足蒸鍍要求。
徠卡真空鍍膜儀各部件的組成及工作原理：
一、真空主體--真空腔
根據(jù)加工產(chǎn)品要求的各異，真空腔的大小也不一樣，目前應(yīng)用多的有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等，腔體由不銹鋼材料制作，要求不生銹、堅(jiān)實(shí)等，真空腔各局部有連接閥，用來(lái)連接各抽氣泵浦。
二、輔助抽氣系統(tǒng)
此排氣系統(tǒng)采用“擴(kuò)散泵+機(jī)械泵十羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成排氣流程為：機(jī)械泵先將真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空狀態(tài)，為擴(kuò)散泵后繼抽真空提供前提，之后當(dāng)擴(kuò)散泵抽真空腔的時(shí)候，機(jī)械泵又配合油擴(kuò)散泵組成串聯(lián)，以這樣的方式完成抽氣動(dòng)作。排氣系統(tǒng)為鍍膜機(jī)真空系統(tǒng)的重要局部，主要有由機(jī)械泵、增壓泵[主要介紹羅茨泵]、油擴(kuò)散泵三大局部組成。機(jī)械泵：也叫前級(jí)泵，機(jī)械泵是應(yīng)用廣泛的一種是低真空泵，它是用油來(lái)保持密封效果并依靠機(jī)械的方法不斷的改變泵吸氣空腔的體積，使被抽容器氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。
徠卡真空鍍膜儀的監(jiān)控目前應(yīng)用方式比較多，主要有：目視監(jiān)控法，定[極值]值監(jiān)控、水晶振蕩監(jiān)控、時(shí)間監(jiān)控等等。幾種監(jiān)控方法各有優(yōu)劣，但通常鍍多層膜，會(huì)以光學(xué)監(jiān)控為主，石英晶體振蕩為輔助的方法。除此之外，對(duì)于有些在鍍膜過(guò)程中需要充入氣體的還有流量控制計(jì)或者壓力控制計(jì)，這些需要采用精細(xì)的閥門和光電傳感系統(tǒng)來(lái)控制。在鍍膜過(guò)程中還需要回轉(zhuǎn)控制系統(tǒng)，就是將傘具的主軸置于軸承里面，然后再利用電機(jī)帶動(dòng)軸承，使傘具回轉(zhuǎn)。然后再PLC控制其回轉(zhuǎn)速度。
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