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sem掃描電鏡是介于透射電鏡和光學顯微鏡之間的一種微觀性貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進行微觀成像。掃描電鏡的優(yōu)點是，有較高的放大倍數(shù)，萬倍之間連續(xù)可調(diào)；有很大的景深，視野大，成像富有立體感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細微結(jié)構(gòu)；試樣制備簡單。它是當今十分有用的科學研究儀器。
sem掃描電鏡SEM的原理：能顯示各種圖像的信息是由于聚焦的電子束與樣品的相互作用而產(chǎn)生的各種信號。相互作用區(qū)的線性體積：隨原子序數(shù)的增加而減小；隨電子束能量的增加而增加；電子束與樣品的角度關(guān)系是傾斜角增加時，相互作用區(qū)變小。
樣品的成分、加速電壓都影響相互作用區(qū)，一般情況下，相互作用區(qū)比束斑大，每種信號從固體發(fā)出的空間范圍，是決定掃描圖像空間分辨能力的重要因素。sem掃描電鏡在材料領(lǐng)域的具體應(yīng)用：
1.材料表面形貌的觀察：通過掃描電子顯微鏡我們可以觀察材料的表面形貌。
2.斷口形貌的觀察：通過掃描電子顯微鏡我們可以進行材料的斷口形貌的觀察，借助掃描電鏡分析斷口的破壞特征、零件內(nèi)部的結(jié)構(gòu)及缺陷,從而判斷零件損壞的原因。
3.微區(qū)化學成分分析：在樣品的處理過程中，有時需要提供包括形貌、成分、晶體結(jié)構(gòu)或位向在內(nèi)的豐富資料，以便能夠更全面、客觀地進行判斷分析。為此，相繼出現(xiàn)了掃描電子顯微鏡—電子探針多種分析功能的組合型儀器。掃描電子顯微鏡如配有X射線能譜(EDS)和X射線波譜成分分析等電子探針附件，可分析樣品微區(qū)的化學成分等信息。
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