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低溫捕集泵與真空泵抽除氣體不同，他是將一個能達到-120℃以下的制冷盤管，放置在真空箱體內(nèi)或油擴散泵泵口，利用Meissner原理，使水蒸汽，油蒸汽快速凝結(jié)在制冷盤管表面，以達到快速抽真空，提高生產(chǎn)效率，提高鍍膜質(zhì)量的目的。因此，低溫捕集泵與真空泵配合使用，較之單獨使用真空泵會大幅提高生產(chǎn)效率，提高產(chǎn)品質(zhì)量。
在高真空環(huán)境中，都存在有一定的殘余氣體。由于水分子量比氧氣，氮氣等空氣主要成分的分子量都小，因此，無論是油擴散泵還是分子泵，都無法迅速，有效地將其抽出，故而越積越多，成為占殘余氣體65%~95%以上的剩余氣體；同時，由于真空泵在使用過程中不可避免的會產(chǎn)生泵油蒸發(fā)現(xiàn)象，故而會有少量油蒸汽進入真空系統(tǒng)。
低溫捕集泵影響集氣器換熱的因素：
?。?）不凝性氣體
由于不凝性氣體造成集氣器內(nèi)蒸氣向壁面擴散阻力增大，削弱了換熱，因而降低蒸氣的凝結(jié)速率，使得分離效果惡化。不凝性氣體對換熱的影響還與混合氣體的運動速度有關(guān)，當混合氣體流速較低時，使得遠離液膜的蒸氣分子很難通過，從而阻礙了蒸氣的正常凝結(jié)。
?。?）自然對流
自然對流的驅(qū)動力來自于純蒸氣和混合氣體密度的差別。自然對流導致了氣體的循環(huán)流動，以及軸向分層現(xiàn)象。界面區(qū)附近的熱質(zhì)傳遞受諸多因素的影響，如工質(zhì)的物性、系統(tǒng)的內(nèi)外部溫度、氣體的數(shù)量、集氣器的位置及結(jié)構(gòu)尺寸等?；旌蠚怏w在集氣器內(nèi)的流動是二次相變流動，這是一種集凝結(jié)、凝固、凝華的相變過程和熱虹吸作用于一身的復雜的物理過程。如何將這一問題簡化為幾個單一的物理過程的組合，以及尋求更為合理而簡單的數(shù)學模型，將是我們今后的努力方向。
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