等離子清洗機(jī)主要適用于各種材料的表面改性處理∶表面清洗、表面活化、表面刻蝕、表面接枝、表面沉積、表面聚合以及等離子體輔助化學(xué)氣相沉積。

等離子清洗機(jī)（Plasma Cleaner）又被稱(chēng)為等離子蝕刻機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子活化機(jī)、Plasma清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機(jī)廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場(chǎng)合，通過(guò)等離子清洗機(jī)的表面處理，能夠改善材料表面的潤(rùn)濕能力，使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、涂鍍等操作，增強(qiáng)粘合力、鍵合力，同時(shí)去除有機(jī)污染物、油污或油脂.

等離子清洗機(jī)的各種應(yīng)用：

表面改性：紙張粘合，塑料粘接、金屬錫焊、電鍍前的表面處理；

表面活化：生物材料的表面修飾，印刷涂布或粘接前的表面處理，如紡織品的表面處理；表面刻蝕：硅的微細(xì)加工，玻璃等太陽(yáng)能領(lǐng)域的表面刻蝕處理，醫(yī)療器皿表面刻蝕處理；表面接枝：材料表面特定基團(tuán)的產(chǎn)生和表面活化的固定；

表面沉積：疏水性或親水性層的等離子體聚合沉積；

等離子清洗機(jī)廣泛應(yīng)用于金屬、微電子、聚合物、生物功能材料、低溫滅菌及污染治理等多種領(lǐng)域，等離子體清洗機(jī)應(yīng)用于光電、電子、聚合物科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、微流體力學(xué)等領(lǐng)域。例如：準(zhǔn)確清洗小零件和微零件；涂膠前激活塑料零件；腐蝕和去除聚四氟乙烯、光刻膠等各種材料；以及疏水和親水涂層。減摩涂層等零件。等離子清洗機(jī)還可以處理金屬。半導(dǎo)體氧化物和大多數(shù)聚合物材料；可以精細(xì)清洗整體、局部和復(fù)雜的結(jié)構(gòu)