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光譜儀的定量分析是基于熒光X射線的強(qiáng)度。影響儀器射線強(qiáng)度的因素會(huì)影響分析的準(zhǔn)確性。以下是兩個(gè)主要因素：
1、矩陣效應(yīng)
基質(zhì)效應(yīng)包括吸收效應(yīng)和增強(qiáng)效應(yīng)。吸收效應(yīng)包括基板對(duì)入射X射線和熒光X射線的吸收。當(dāng)樣品受到輻射激發(fā)時(shí)，它不僅作用于樣品表面，而且以相應(yīng)的厚度滲入樣品中。樣品中的分析元素形成的熒光X射線只能通過(guò)相應(yīng)厚度的樣品發(fā)射。在穿透過(guò)程中，由于基體元素的吸收，這兩種X射線的強(qiáng)度會(huì)減弱，X射線的減弱會(huì)影響分析元素的激發(fā)效率。
如果光譜儀入射X射線激發(fā)基體元素形成波長(zhǎng)略短于分析元素吸收邊的熒光X射線，會(huì)使分析元素形成二次熒光X射線，進(jìn)而增強(qiáng)強(qiáng)度分析元素的熒光X射線，是基體的增強(qiáng)作用。如果吸收效應(yīng)占優(yōu)勢(shì)，則分析結(jié)果略低；如果增強(qiáng)效果占優(yōu)勢(shì)，則分析結(jié)果較高。
2、效果參差不齊
不均勻效應(yīng)是指樣品粒徑不均勻性和樣品表面光滑度對(duì)熒光X射線強(qiáng)度的影響。對(duì)于粉末樣品，大顆粒的吸收強(qiáng)，小顆粒的吸收弱。因此，要求粒徑盡可能小，以減少對(duì)X射線的吸收。測(cè)量短波X射線時(shí)，粒徑應(yīng)大于250目，測(cè)量波長(zhǎng)大于0.2nm的長(zhǎng)波X射線時(shí)，粒徑應(yīng)大于400目。
固體樣品必須拋光，粉末樣品必須壓實(shí)以使表面光滑。粗糙的表面會(huì)顯著降低光譜儀熒光X射線的強(qiáng)度。測(cè)量短波X射線時(shí)，光潔度約為1005m，測(cè)量長(zhǎng)波X射線時(shí)，光潔度為20-50mm。
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