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箱式氣氛爐是一種實驗設備,適用于金屬、納米、單晶硅、多晶硅、電池等的擴散焊接以及真空氣體保護下，氣氛熱處理的加熱設備鉬絲爐、箱式氣氛爐、井式氣氛爐、真空管式爐用于材料或化學實驗室，在真空或氣氛狀態(tài)下燒結(jié)各種新材料樣品。
箱式氣氛爐分為以下幾個部分：
1.爐膛
爐膛采用莫來石聚輕磚砌筑，爐膛內(nèi)上下用碳化硅棚板，爐內(nèi)溫度是加熱元件在加熱過程中經(jīng)過碳化硅棚板傳導（暗火加熱），溫度更均勻。爐殼密封。為提高密封墊的使用壽命在爐門口設有循環(huán)水冷套以降低密封處的溫度。進氣設爐膛底部，經(jīng)加熱腔預熱后分多處進入爐內(nèi)，排氣經(jīng)爐頂后部排出。保證爐內(nèi)氣氛均勻，減小爐內(nèi)溫差。氣路上裝有氣體流量計，用于正常使用控制氣氛流量。
2.冷卻
爐門采用循環(huán)式水冷。設有進出水接頭。
3.電氣
電氣部分采用與爐體一體化結(jié)構(gòu)，整個電氣元件安裝在爐體底部的一側(cè)，結(jié)構(gòu)緊湊、占用空間小。
箱式氣氛爐經(jīng)過一段時間的使用后,爐堂內(nèi)會留下高溫反應時的雜質(zhì)，所以需要定期的對箱式氣氛爐進行維護保養(yǎng)! 箱式氣氛爐保養(yǎng)主要是清洗爐堂，清洗爐堂主要有以下二種方法:
1、用保護氣體趕出爐膛內(nèi)空氣法：
（1）保護氣體一般應在電爐升溫前通入爐內(nèi)；
（2）保護氣體可通過上、下、后三個洗爐口通入，應將排氣口的針閥開至*大，以利于爐內(nèi)空氣盡快排出；
（3）一般向爐內(nèi)通入爐膛容積10倍左右的保護氣體，可使爐內(nèi)氧濃度降至10ppm左右；
（4）當爐內(nèi)氧濃度符合產(chǎn)品工藝要求時，可將排氣口的針閥關小，以節(jié)約保護氣,關閉洗爐口,由進氣口通過流量計進入；
（5）在電爐使用過程中，爐膛內(nèi)必須維持正壓，以防爐外空氣進入爐膛；
2、用真空泵預抽真空法：
（1）把前面一個出氣嘴與真空用軟管連接起來;
（2）對爐腔進行預抽真空;
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