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陶瓷燒結(jié)爐是半導體專用設(shè)備系列中的一種新型工藝設(shè)備，可進行真空燒結(jié)、氣體保護燒結(jié)和常規(guī)燒結(jié)。它具有設(shè)計新穎、操作方便、結(jié)構(gòu)緊湊等優(yōu)點。它可以在一臺設(shè)備上完成多個工藝流程。
陶瓷燒結(jié)爐的結(jié)構(gòu)說明：
1、本電爐為立式真空電爐，由爐蓋、爐體、爐底和真空機組組成，爐殼內(nèi)層是不銹鋼，外層是碳鋼，兩層之間用循環(huán)水冷卻。爐殼上設(shè)有抽氣口、觀察孔、熱電偶孔、保護氣氛進出口、防爆
口等。發(fā)熱元件采用鎢絲發(fā)熱，發(fā)熱體的周圍有多層鎢片、鉬片和不銹鋼組成的隔熱屏裝置。爐底是由內(nèi)外板焊接而成，中間水冷?？缮舷律捣奖阊b卸料。
2、發(fā)熱體：采用三相鎢籠網(wǎng)狀式結(jié)構(gòu)，散發(fā)熱量平穩(wěn)均勻，使爐內(nèi)溫度均勻性較好，生產(chǎn)效率高，耐用性能強，新型結(jié)構(gòu)使用壽命長，變形小和特別節(jié)能等。有效的使燒結(jié)樣品更美觀均勻透徹。真空鎢絲爐內(nèi)部的鎢絲網(wǎng)發(fā)熱體采用了*的制作工藝，可大大降低能耗，發(fā)熱體外采用全金屬隔熱屏保溫。專有技術(shù)設(shè)計的保溫層，爐溫均勻性佳，變形小，使用壽命長。
3、隔熱屏：由多層金屬板專業(yè)制造，加工設(shè)備也提高技術(shù)，使隔熱屏加以固定，不容易變形，更有助于隔熱性能的提高及均勻性，還有效的防止熱量向外輻射傳導，更有助于真空度和清潔度的要求有很高的環(huán)境使用。同時高真空陶瓷燒結(jié)爐已成功得到用戶滿意的認可、驗收及更高的肯定。
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