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通常的X射線熒光光譜儀分為能量色散X射線熒光光譜儀（EDXRF）和波長色散X射線熒光光譜儀（WDXRF），其以X射線管出射譜照射樣品后產(chǎn)生的元素?zé)晒馍渚€是以能量色散型探測器直接探測（EDXRF）或是經(jīng)分光晶體分光后探測器探測（WDXRF）為主要區(qū)別。
單波長X射線熒光光譜儀是在X射線照射樣品前進(jìn)行了X射線光的單色化入射，主要依靠雙曲面彎晶或者二次靶或者多層膜彎晶等技術(shù)，將X射線管出射譜中的單一能量衍射聚焦到樣品一點(diǎn)，激發(fā)樣品中元素?zé)晒?，這樣極大降低了由于X射線管出射譜韌致輻射照射樣品而產(chǎn)生的背景干擾，獲得較佳的元素?zé)晒庑盘?hào)峰背比。嚴(yán)格說來，單波長X射線熒光光譜儀也分為單波長激發(fā)-能量色散X射線熒光光譜儀和單波長激發(fā)-波長色散X射線熒光光譜儀兩類。
由于單波長X射線熒光光譜儀獲得較佳的元素分析性能（尤其在靈敏度方面），是當(dāng)前X射線熒光領(lǐng)域研發(fā)的重點(diǎn)。
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