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氣體質(zhì)量流量于實(shí)驗(yàn)室行業(yè)中的應(yīng)用

來源:青島芯笙微納電子科技有限公司   2022年05月16日 09:42  

   公司簡介 

    青島芯笙微納電子科技有限公司位于青島市嶗山區(qū),毗鄰山東大學(xué)青島校區(qū)、北航青島微電子研究院、中科院青島能源所等研究機(jī)構(gòu),是一家專業(yè)從事氣體流量傳感器和流量測控儀表開發(fā)的高新技術(shù)企業(yè),公司團(tuán)隊(duì)核心成員來自新加坡、比利時(shí)、中科院等著名MEMS研究機(jī)構(gòu)。公司與新加坡科技局微電子研究院、上海微技術(shù)工業(yè)研究院等單位建立了長期戰(zhàn)略合作關(guān)系,與山東大學(xué)和北航微電子研究院在新型傳感器芯片開發(fā)方面具有密切合作關(guān)系。

 

    青島芯笙將繼續(xù)專注在微小氣體流量測控領(lǐng)域,致力于為客戶提供高品質(zhì)產(chǎn)品和專業(yè)化服務(wù),以質(zhì)量和信譽(yù)為本加強(qiáng)管理,為推動(dòng)國產(chǎn)分析儀器、半導(dǎo)體裝備的發(fā)展作出貢獻(xiàn)。

   制造和標(biāo)定平臺
     制造平臺具有80余臺傳感器自動(dòng)化生產(chǎn)設(shè)備和可靠性測試設(shè)備以及9000平米千級無塵封測車間,具備ISO9001, ISO14001, IATF16949等品質(zhì)管理和制造認(rèn)證。

    在標(biāo)定和校準(zhǔn)環(huán)節(jié),擁有活塞標(biāo)準(zhǔn)流量裝置(精度0.3%)、音速噴嘴標(biāo)準(zhǔn)流量裝置(精度0.13%)、美國福祿克Molbox流量設(shè)備(精度0.125%)等多臺設(shè)備,確保產(chǎn)品精度。

 

概述:結(jié)合國家近兩年對科研、高校、研究院所等行業(yè)的持續(xù)投入,高精尖用氣設(shè)備越來越多,用氣量也逐年增加,對氣體流量的精確計(jì)量控制需求也越來越多。青島芯笙以微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)為基礎(chǔ),推出多款適用于實(shí)驗(yàn)室領(lǐng)域的高性能氣體質(zhì)量流量計(jì)(MFM) 和氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)產(chǎn)品。

 

   合作伙伴

PART01

實(shí)驗(yàn)室常用氣體的分類

、根據(jù)用途分類

一是能源動(dòng)力氣體。在實(shí)驗(yàn)室中,部分氣體用來提供能源,如天然氣、煤氣、液化氣、氫氣、乙炔等,有的提供動(dòng)力,如壓縮空氣、氮?dú)狻?/span>

二是試驗(yàn)用原材料。實(shí)驗(yàn)室常用部分氣體作為試驗(yàn)用原材料,如化學(xué)反應(yīng)實(shí)驗(yàn)使用的氯氣、一氧化氮?dú)怏w、氧氣、氫氣等。

三是實(shí)驗(yàn)儀器輔助用氣。實(shí)驗(yàn)室中部分試驗(yàn)或儀器需要高純保護(hù)氣體,如氣相色譜、氣質(zhì)聯(lián)用、原子吸收、ICP等精密儀器使用的高純不燃?xì)怏w(氮?dú)?、二氧化碳)、惰性氣體(氦氣、氬氣)、助燃?xì)怏w(氧氣)等。

 

二、依據(jù)化學(xué)性質(zhì)分類

一是有毒有害氣體。具有毒性和腐蝕性。

二是易燃易爆氣體。具有易燃燒性和化學(xué)爆炸危險(xiǎn)性,如氫氣、乙炔等,有的易燃易爆氣體還具有一定毒性。

三是助燃?xì)怏w。具有助燃能力,但自身不燃燒,此類氣體的存在增大火災(zāi)的危險(xiǎn)性,如氧氣等。 

四其他氣體。不具備上述三種性質(zhì)的氣體,如惰性氣體、二氧化碳等。

 

 

PART02

常規(guī)分析實(shí)驗(yàn)室儀器的一般用氣配備

  1. 氣相色譜:H2   N2   He   Air

  2. 液相質(zhì)普:N2   CDA

  3. 原子吸收:火焰法:Air+C2H2  /  N20+C2H2  石墨爐法:Ar+02  /  Ar+Air

  4. VOC檢測:Air   Ar   He

  5. ICP-MS: (N2)  Ar  Air (He)

  6. 液質(zhì)聯(lián)用:N2

  7. X熒光光譜儀:Ar/CH4   He

  8. 等離子發(fā)射光譜:N2   Ar

  9. 元素分析儀:O2   He

  10. 碳硫分析儀:O2   N2

  11. 測汞儀:Ar Air

  12. 測硫儀:O2

  13. 發(fā)熱量測定儀:O2

  14. 離子質(zhì)譜:He   離子色譜:N2

  15. 四極桿和TFO:He

  16. 生物反應(yīng)器:Air   CO2    O2    N2

  17. 三重四極:N2   H2

  18. 超臨界薈萃:CO2

  19. 微波多態(tài)合成:N2  Ar

  20. 核磁共振儀:N2   CDA   He

  21. 化學(xué)合成:CDA

  22. 球礦團(tuán)還原-膨脹試驗(yàn)儀:N2   煤氣LPG(流量較大,主管至少使用3/8”)

  23. 太陽能電池反應(yīng)用氣:Ar  N2  He  NH3  CF4  N2O  H2  SiH4

                          SiH2CL2  SiH2CL3  SiHCL4等

 

 

青島芯笙MFM-50系列氣體質(zhì)量流量計(jì)專門用于氣體流量的高精度測量。該系列流量計(jì)采用業(yè)內(nèi)先進(jìn)流量傳感芯片,結(jié)合航空鋁材拋光氣體流道設(shè)計(jì),配合公司核心的標(biāo)定和補(bǔ)償算法,實(shí)現(xiàn)對各類潔凈干燥、無腐蝕性氣體的高精度流量測量。該產(chǎn)品20SLM以內(nèi)典型精度為1%,50SLM典型精度為1.5%,量程比均優(yōu)于100:1, 此系列產(chǎn)品的量程從100SCCM到800SLM可選(其它量程可咨詢定制),并配有液晶屏顯示、數(shù)字和模擬輸出,方便用戶現(xiàn)場和遠(yuǎn)程調(diào)試。該產(chǎn)品成本低、易安裝、不需要額外溫度和壓力補(bǔ)償,適用于實(shí)驗(yàn)室行業(yè)惰性氣體計(jì)量。

 

 

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