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CVD管式爐使用注意事項說明

來源:北京萊步技術(shù)有限公司   2022年05月17日 13:04  


  1. 冷爐使用時,由于管式爐膛是冷的,須大量吸熱,所以低溫段升溫速率不易過快,各溫度段的升溫速率差別不易太大,設(shè)置升溫速率時應(yīng)充分考慮所燒結(jié)材料的物理化學(xué)性質(zhì),以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象,污染爐管。爐膛的溫度大于等于200攝氏度是,禁止打開爐膛,避免受到傷害。

 

  2. 定期檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是否良好,應(yīng)特別注意加熱元件的各連接點的連接是否緊固,避免出現(xiàn)電路故障。

 

  3.CVD管式爐使用或長時間不用后,要在120℃左右烘烤1小時,在300℃左右烘烤2小時后使用,以免造成爐膛開裂。爐溫盡量不要超過額定溫度,以免損壞加熱元件及爐體。禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬,保持爐內(nèi)的清潔。

  

    4.設(shè)備使用時,爐管內(nèi)的壓力不得超過0.02MPa以防止壓力過大造成設(shè)備損壞;當(dāng)爐體的溫度高于1000攝氏度時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)需是常壓常壓狀態(tài),與大氣壓基本保持一致;在對樣品加熱時,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥、進(jìn)氣閥。若要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的顯示值,絕對壓力表讀書不要大于0.02MPa必須立刻打開排氣閥門,以防發(fā)生意外。

 

  5. 爐膛若采用石英管,當(dāng)溫度高于1000℃時,石英管的高溫部分會出現(xiàn)不透明現(xiàn)象,這叫失透是石英管的一個固有缺陷,屬正?,F(xiàn)象


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