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場發(fā)射掃描電子顯微鏡利用電子成像，類似于光學(xué)顯微鏡使用可見光成像。由于電子的波長遠(yuǎn)小于光的波長，所以電子顯微鏡的分辨率要高于光學(xué)顯微鏡的分辨率。該設(shè)備已成為功能強(qiáng)、用途廣的材料表征工具，已廣泛應(yīng)用于材料，冶金，礦物，生物學(xué)等領(lǐng)域。
無論是在高真空還是在可變壓力模式下，更高的表面細(xì)節(jié)信息靈敏度讓您在對任意樣品進(jìn)行成像和分析時(shí)都具備更佳的靈活性，為您在材料科學(xué)研究、生命科學(xué)研究、工業(yè)實(shí)驗(yàn)室或是顯微成像平臺(tái)中獲取各種類型樣品在微觀世界中清晰、真實(shí)的圖像，提供靈活、可靠的場發(fā)射掃描電子顯微鏡技術(shù)和方案。
場發(fā)射掃描電子顯微鏡的組成，有以下幾部分：
一、電子光學(xué)系統(tǒng)
組成：電子槍、電磁透鏡、掃描線圈和樣品室等部件。
作用：獲得掃描電子束、作為產(chǎn)生物理信號(hào)的激發(fā)源。
二、信號(hào)收集和顯示系統(tǒng)
信號(hào)收集：二次電子和背散射電子收集器、吸收電子顯示器、X射線檢測器（波譜儀和能譜儀）
顯示系統(tǒng)：顯示屏有兩個(gè)，一個(gè)用于觀察，一個(gè)用于記錄照相。
三、真空系統(tǒng)
組成：機(jī)械泵、擴(kuò)散泵
作用：保證電子光學(xué)系統(tǒng)正常工作，提供高真空度，防止樣品污染，保持燈絲壽命，防止極間放電。
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