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X射線熒光光譜儀能夠分析元素周期表中的大部分元素，具體而言，從鈉元素到鈾元素都可以利用這種技術進行檢測分析。但是對于原子序數(shù)較低的元素，空氣會對檢測結果產生較大影響；由低原子序數(shù)元素產生的熒光值通常更低，并且樣品基體中的其它元素有可能會吸收低原子序數(shù)元素的能量輻射。
X射線熒光光譜儀主要由以下幾部分組成：
?。?）激發(fā)系統(tǒng)：主要部件為X射線管，可以發(fā)出原級X射線，用于照射樣品激發(fā)熒光X射線；
?。?）分光系統(tǒng)：對來自樣品待測元素發(fā)出的特征熒光X射線進行分辨；
?。?）探測系統(tǒng)：對樣品待測元素的特征熒光X射線進行強度探測；
?。?）儀器控制和數(shù)據處理系統(tǒng)：處理探測器信號，給出分析結果。
X射線熒光光譜儀的測試步驟：
（1）選擇分析方法與制樣方法。分析方法一般有基本參數(shù)法、半基本參數(shù)法、經驗系數(shù)法等，制樣方法一般有拋光法、壓片法、濾紙片法和熔片法，常用粉末壓片法制樣，采用基本參數(shù)法測試。
?。?）將制備好的樣片裝進樣品杯，放入樣品交換器中，自動進樣樣品室，X射線管發(fā)出原級X射線照射樣品，激發(fā)出待測元素的熒光X射線。
（3）樣品輻射出的熒光X射線通過分光晶體，將X射線熒光光譜色散成孤立的單色分析線，由探測器測量各譜線的強度，根據選用的分析方法換算成元素濃度，得到樣品中待測元素含量。
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