MFC穩(wěn)定的流量控制技術(shù)：MFC對(duì)氣體流量進(jìn)行控制是基于流量計(jì)和比例閥在PID控制算法的作用下所實(shí)現(xiàn)。MFC所采用的PID算法一般具有動(dòng)態(tài)調(diào)整功能，根據(jù)不同的工況進(jìn)行動(dòng)態(tài)調(diào)整，從而實(shí)現(xiàn)快速的流量切換（一般響應(yīng)時(shí)間＜1s）以及設(shè)定的流量的穩(wěn)定輸出。下圖為10L MFC的最大流量點(diǎn)多穩(wěn)定性情況對(duì)比，以10SLM為例，本產(chǎn)品波動(dòng)±13sccm， 三臺(tái)競(jìng)品分別為±13sccm，±116sccm， ±19.5sccm。(數(shù)據(jù)由第三方MFM記錄，黃線為我司產(chǎn)品）

圖1.2  三款10L MFC在滿量程點(diǎn)的波動(dòng)對(duì)比
  溫補(bǔ)補(bǔ)償技術(shù)研究：溫度補(bǔ)償（Temperature compensation)，大幅度溫度變化會(huì)對(duì)傳感器內(nèi)部電阻、待測(cè)氣體密度、氣路結(jié)構(gòu)等關(guān)鍵部件產(chǎn)生微弱影響，最終會(huì)導(dǎo)致3%左右到讀數(shù)誤差（溫漂誤差），如下圖橙色線所示。在流量計(jì)和控制器設(shè)計(jì)中，采用全量程溫度方法（不同流量，不同溫度下逐一測(cè)試和溫補(bǔ)），進(jìn)行精確溫度補(bǔ)償，用于保證滿量程范圍內(nèi)溫漂誤差控制在0.5%或1%以內(nèi)，如下圖藍(lán)線所示。

圖1.3 MFC-E 10L流量下的溫度補(bǔ)償效果測(cè)試數(shù)據(jù)

熱式毛細(xì)管原理同類MFC產(chǎn)品是沒有溫度補(bǔ)償這一道生產(chǎn)工序，其在流道進(jìn)氣口需加多層過濾網(wǎng)進(jìn)行處理，MEMS先進(jìn)氣體流量測(cè)控技術(shù)在生產(chǎn)中加入了溫度補(bǔ)償工序，大大提高了產(chǎn)品穩(wěn)定性及精度準(zhǔn)確性。

流量計(jì)壓損研究：流量計(jì)壓損（Pressure loss）是流量計(jì)的關(guān)鍵指標(biāo)之一，用于表中流量計(jì)輸入和輸出前后端的壓力差，也是保證流量計(jì)正常工作的壓力差。流量計(jì)壓損一般隨流量的增大而增大，同時(shí)受到解決方案的影響，基于MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）的流量計(jì)壓損，遠(yuǎn)小于渦街流量計(jì)和差壓式流量計(jì)。

圖1.4 流量計(jì)壓損測(cè)試數(shù)據(jù)

工作壓力對(duì)波動(dòng)的影響研究：MFC使用過程中的兩端壓力變化雖然不會(huì)導(dǎo)致精度偏差（質(zhì)量流量不受影響），但會(huì)對(duì)氣路穩(wěn)定性產(chǎn)生影響。當(dāng)工作壓力變大的時(shí)候，MFC的波動(dòng)將會(huì)大幅度增加，如下圖所示。當(dāng)壓力在0-0.3MPa時(shí)，波動(dòng)值小于0.2%，絕大部分情況小于0.1%。當(dāng)壓力大于0.4MPa時(shí)，波動(dòng)可以達(dá)到0.6%以上。因此，MFC前后端壓力差建議控制在0.3MPa以內(nèi)。

圖1.5 MFC-UT 100ml在不同工作壓力下的波動(dòng)

采用公司自主研發(fā)的工業(yè)級(jí)先進(jìn)流量傳感器芯片，結(jié)合低壓損氣路結(jié)構(gòu) 以及高精度數(shù)字控制電路和算法，實(shí)現(xiàn)寬溫范圍內(nèi)的高精度、高穩(wěn)定性、寬量程比控制。該產(chǎn)品配 備現(xiàn)場(chǎng)調(diào)試屏及獨(dú)立供電接口，適配半導(dǎo)體行業(yè)。

圖1.6 自主研發(fā)生產(chǎn)的MFC控制器產(chǎn)品